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公开(公告)号:CN114415289B
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN202210111218.9
申请日:2022-01-29
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提出基于氮化硅平台的低损耗宽带宽波长复用/解复用器,包括一根条形波导;所述条形波导为以直线方式延伸的条状件,该条状件的顶面与底面平行,一侧以宽度渐变的方式形成输出端的锥状波导,另一侧以条状的矩形柱形成输入端的直波导;条形波导的锥状波导的两个侧面分别与第一锥形波导的输入端、第二锥形波导的输入端紧邻形成两个波长复用/解复用结构;所述第一锥形波导的输出端、第二锥形波导的输出端处均设有用于解耦的弯曲波导;第一锥形波导输出端、第二锥形波导输出端处均设有用于提高器件的消光比滤波结构;所述直波导的侧面与第三锥形波导的输出端紧邻形成模分复用结构;本发明具有大带宽,低损耗,高消光比等特点。
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公开(公告)号:CN108107506A
公开(公告)日:2018-06-01
申请号:CN201810146911.3
申请日:2018-02-12
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明涉及一种光通信波段聚合物波导光栅耦合器及其制作方法,波导光栅耦合器包括光栅结构及波导结构,光栅结构由衬底、低折射率波导下包层、高折射率介质层、高折射率波导芯层和空气层构成,波导结构由衬底、低折射率波导下包层、高折射率波导芯层和空气层构成。其关键制备工艺包括:制作主模具和软副模具;制作光栅结构及波导结构的衬底和低折射率波导下包层;制作光栅结构的高折射率介质层;旋涂高折射率聚合物波导芯层材料。本发明实现工艺简单、成本低,能有效降低聚合物波导与普通单模光纤之间通过端面耦合方式进行对准的难度,有助于推动聚合物集成光子器件在光传感与光互连方面的应用研究。
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公开(公告)号:CN114265147B
公开(公告)日:2023-10-17
申请号:CN202210084606.2
申请日:2022-01-25
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提出一种光通信波段宽带宽高效率水平端面耦合器及其制作方法,包括:硅衬底层,二氧化硅包覆层和全刻蚀的倒锥型硅纳米线波导;在所述全刻蚀的倒锥型硅纳米线波导上方的二氧化硅包覆层中,有三层数量、尺寸以及结构完全相同的氮化硅波导阵列。能在光通信波段实现普通单模光纤与硅集成光子芯片的高效率、大带宽,且非偏振相关的有效耦合,且具对准容差较大、器件结构参数选取灵活、易于加工等明显优点,有助于推动硅集成光芯片的封装以及进一步在光通信、光互连方面的应用研究。
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公开(公告)号:CN114415289A
公开(公告)日:2022-04-29
申请号:CN202210111218.9
申请日:2022-01-29
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提出基于氮化硅平台的低损耗宽带宽波长复用/解复用器,包括一根条形波导;所述条形波导为以直线方式延伸的条状件,该条状件的顶面与底面平行,一侧以宽度渐变的方式形成输出端的锥状波导,另一侧以条状的矩形柱形成输入端的直波导;条形波导的锥状波导的两个侧面分别与第一锥形波导的输入端、第二锥形波导的输入端紧邻形成两个波长复用/解复用结构;所述第一锥形波导的输出端、第二锥形波导的输出端处均设有用于解耦的弯曲波导;第一锥形波导输出端、第二锥形波导输出端处均设有用于提高器件的消光比滤波结构;所述直波导的侧面与第三锥形波导的输出端紧邻形成模分复用结构;本发明具有大带宽,低损耗,高消光比等特点。
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公开(公告)号:CN114265147A
公开(公告)日:2022-04-01
申请号:CN202210084606.2
申请日:2022-01-25
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提出一种光通信波段宽带宽高效率水平端面耦合器及其制作方法,包括:硅衬底层,二氧化硅包覆层和全刻蚀的倒锥型硅纳米线波导;在所述全刻蚀的倒锥型硅纳米线波导上方的二氧化硅包覆层中,有三层数量、尺寸以及结构完全相同的氮化硅波导阵列。能在光通信波段实现普通单模光纤与硅集成光子芯片的高效率、大带宽,且非偏振相关的有效耦合,且具对准容差较大、器件结构参数选取灵活、易于加工等明显优点,有助于推动硅集成光芯片的封装以及进一步在光通信、光互连方面的应用研究。
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公开(公告)号:CN208297770U
公开(公告)日:2018-12-28
申请号:CN201820252996.9
申请日:2018-02-12
Applicant: 福州大学
Abstract: 本实用新型涉及一种光通信波段聚合物波导光栅耦合器,包括光栅结构及波导结构,波导耦合光栅结构由衬底、低折射率波导下包层、高折射率介质层、高折射率波导芯层和空气层构成,波导结构由衬底、低折射率波导下包层、高折射率波导芯层和空气层构成。该聚合物波导光栅耦合器结构简单,耦合效率高,能有效降低聚合物波导与普通单模光纤之间通过端面耦合方式进行对准的难度,有助于推动聚合物集成光子器件在光传感与光互连方面的应用研究。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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