一种光通信波段聚合物波导光栅耦合器及其制作方法

    公开(公告)号:CN108107506A

    公开(公告)日:2018-06-01

    申请号:CN201810146911.3

    申请日:2018-02-12

    Applicant: 福州大学

    Abstract: 本发明涉及一种光通信波段聚合物波导光栅耦合器及其制作方法,波导光栅耦合器包括光栅结构及波导结构,光栅结构由衬底、低折射率波导下包层、高折射率介质层、高折射率波导芯层和空气层构成,波导结构由衬底、低折射率波导下包层、高折射率波导芯层和空气层构成。其关键制备工艺包括:制作主模具和软副模具;制作光栅结构及波导结构的衬底和低折射率波导下包层;制作光栅结构的高折射率介质层;旋涂高折射率聚合物波导芯层材料。本发明实现工艺简单、成本低,能有效降低聚合物波导与普通单模光纤之间通过端面耦合方式进行对准的难度,有助于推动聚合物集成光子器件在光传感与光互连方面的应用研究。

    一种光通信波段聚合物波导光栅耦合器

    公开(公告)号:CN208297770U

    公开(公告)日:2018-12-28

    申请号:CN201820252996.9

    申请日:2018-02-12

    Applicant: 福州大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种光通信波段聚合物波导光栅耦合器,包括光栅结构及波导结构,波导耦合光栅结构由衬底、低折射率波导下包层、高折射率介质层、高折射率波导芯层和空气层构成,波导结构由衬底、低折射率波导下包层、高折射率波导芯层和空气层构成。该聚合物波导光栅耦合器结构简单,耦合效率高,能有效降低聚合物波导与普通单模光纤之间通过端面耦合方式进行对准的难度,有助于推动聚合物集成光子器件在光传感与光互连方面的应用研究。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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