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公开(公告)号：CN117661079A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311680887.9
申请日：2023-12-08
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提出一种电镀填充过程原位观察的装置，能对阴极工件进行图像信号采集，原位观察装置包括图像采集件和电化学反应器；电化学反应器包括层叠堆设的顶盖、密封件、主体框架、流体入口和流体出口，以及嵌设在主体框架的参比电极、对电极、阴极工件；主体框架包括流体腔沟槽、用于连接流体入口和流体出口，顶盖、密封件、流体腔沟槽和阴极工件围合形成一腔体供电镀液流动；图像采集件位于电化学反应器的上方、可用于实时捕获采集电化学反应器中发生的电镀填充过程；本发明能够在电镀填充过程中对填充层的形貌变化进行实时监控，有利于提高工艺开发效率。
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公开(公告)号：CN110530940A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910968559.6
申请日：2019-10-12
Applicant: 福州大学
IPC: G01N27/28 , G01N27/30 , G01N27/416 , G01N27/40 , G01N27/62
Abstract: 本发明提出一种流动式光热电化学反应薄层电解池，包括用紧固件固定在一起的上部件（1）和下部件（6），且其上部件（1）和下部件（6）中间夹有膜层，其特征在于：所述上部件（1）包含有进液孔（101）、出液孔（106）、进气孔（102）、工作电极（103）、参比电极（104）、对电极（105）；所述下部件（6）包括出气孔（602）、镶嵌有透光件（601）的透光孔（611）；上部件（1）和下部件（6）中间所夹膜层自上而下依次为隔水透气上膜（2）、塑料上膜（3）、隔水透气下膜（4）、塑料下膜（5）；本发明为一体化光电热耦合催化反应电解池结构，能够使反应气体在电解过程中保持饱和状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119392324A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411570399.7
申请日：2024-11-06
Applicant: 福州大学
IPC: C25D3/38 , C25D7/12 , H01L21/48 , H01L21/768
Abstract: 本发明涉及一种薄面铜的无缝隙微孔填充镀液和填充方法。所述镀液至少包括：铜离子、酸性电解质，桥接离子以及水，并至少含有非离子型表面活性剂、阴离子表面活性剂、阳离子表面活性剂、两性离子型表面活性剂和季铵盐染料等化学助剂中的一种。所述方法至少包括：待填充样片的浸润、预镀、单一至多个阶段的阶梯电流或电压电镀。本发明能够在实现无缝隙填充的同时，保证孔内和表面的均匀性，并在表面产生较薄的生长轮廓，从而在保证微孔填充质量的同时降低生产成本。
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公开(公告)号：CN115142104A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210901466.3
申请日：2022-07-28
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提供一种电镀装置、多通道电镀装置组和电镀反应系统，包括：层叠设置的阴极控制件、阴极腔室框架、中间组件，阳极腔室框架和阳极控制件；中间组件包括堆叠设置的阴极腔流成形件、离子交换件、电场约束件和阳极腔流成形件；阴极控制件可与阴极镀件电连接并于用夹持阴极镀件，阳极控制件可与阳极件电连接并用于夹持阳极件；紧固件，紧固件依次贯穿阴极腔室框架的第一固定孔，中间组件的第二固定孔和阳极腔室框架的第三固定孔实现各组件的固定组装；本发明实施例提供的电镀装置能够获得更均匀的镀层厚度分布，提升电镀效果均匀性；还能较容易的实现对电镀装置的工艺放大，在不影响电镀效果的同时扩大其应用范围。
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公开(公告)号：CN110530940B
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN201910968559.6
申请日：2019-10-12
Applicant: 福州大学
IPC: G01N27/28 , G01N27/30 , G01N27/416 , G01N27/40 , G01N27/62
Abstract: 本发明提出一种流动式光热电化学反应薄层电解池，包括用紧固件固定在一起的上部件（1）和下部件（6），且其上部件（1）和下部件（6）中间夹有膜层，其特征在于：所述上部件（1）包含有进液孔（101）、出液孔（106）、进气孔（102）、工作电极（103）、参比电极（104）、对电极（105）；所述下部件（6）包括出气孔（602）、镶嵌有透光件（601）的透光孔（611）；上部件（1）和下部件（6）中间所夹膜层自上而下依次为隔水透气上膜（2）、塑料上膜（3）、隔水透气下膜（4）、塑料下膜（5）；本发明为一体化光电热耦合催化反应电解池结构，能够使反应气体在电解过程中保持饱和状态。
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公开(公告)号：CN210953905U
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201921707317.3
申请日：2019-10-12
Applicant: 福州大学
IPC: G01N27/28 , G01N27/30 , G01N27/416 , G01N27/40
Abstract: 本实用新型提出一种流动式光谱电化学电解池，所述电解池自上而下顺序设有上部件、透光片、软膜、下部件；所述上部件中心位置开有正对透光片的透光孔；所述软膜中间开有呈圆形或长方形的薄形通孔；所述薄形通孔、透光片和下部件围成膜层池；所述下部件设有与膜层池相接的电化学工作电极、对电极、参比电极，下部件两侧端处还分别设有与膜层池相通的进液口和出液口以使电解液在膜层池内流动通过；本实用新型可实现电极表面温度精确调控，同时电解池液槽的体积可通过控制薄膜厚度调节，能解决电解池系统复杂，不便于实际操作的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211652661U
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201921705934.X
申请日：2019-10-12
Applicant: 福州大学
IPC: G01N27/28 , G01N27/30 , G01N27/416 , G01N27/40 , G01N27/62
Abstract: 本实用新型提出一种流动式光热电化学反应薄层电解池，包括用紧固件固定在一起的上部件（1）和下部件（6），且其上部件（1）和下部件（6）中间夹有膜层，其特征在于：所述上部件（1）包含有进液孔（101）、出液孔（106）、进气孔（102）、工作电极（103）、参比电极（104）、对电极（105）；所述下部件（6）包括出气孔（602）、镶嵌有透光件（601）的透光孔（611）；上部件（1）和下部件（6）中间所夹膜层自上而下依次为隔水透气上膜（2）、塑料上膜（3）、隔水透气下膜（4）、塑料下膜（5）；本实用新型为一体化光电热耦合催化反应电解池结构，能够使反应气体在电解过程中保持饱和状态。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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