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公开(公告)号：CN112264842A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202011176034.8
申请日：2020-10-28
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提出基于极坐标玻璃磨边机恒线速度磨削加工方法，包括控制模块、工作台、砂轮和数据采集系统的使用，所述数据采集系统与固定工作台处的光栅传感器相连，包括以下步骤；步骤一、把工件固定于工作台处，工作台以恒角速度驱动工件在C轴做旋转运动，使光栅位移传感器扫描工件边沿；步骤二、数据采集系统通过光栅位移传感器获取工件边沿各扫描点与光栅位移传感器之间的距离并将其转换为极坐标系下的点坐标 ，形成用于表述工件边沿运动轨迹的扫描点数据集；步骤三、根据工件边沿运动轨迹控制砂轮转速，进行恒线速磨削；本发明采用光栅位移传感器实现异形轮廓的绘制，可实现任意形状玻璃毛坯的加工，且通过算法实现了玻璃磨边机恒线速度切削。
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公开(公告)号：CN112264842B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202011176034.8
申请日：2020-10-28
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提出基于极坐标玻璃磨边机恒线速度磨削加工方法，包括控制模块、工作台、砂轮和数据采集系统的使用，所述数据采集系统与固定工作台处的光栅传感器相连，包括以下步骤；步骤一、把工件固定于工作台处，工作台以恒角速度驱动工件在C轴做旋转运动，使光栅位移传感器扫描工件边沿；步骤二、数据采集系统通过光栅位移传感器获取工件边沿各扫描点与光栅位移传感器之间的距离并将其转换为极坐标系下的点坐标，形成用于表述工件边沿运动轨迹的扫描点数据集；步骤三、根据工件边沿运动轨迹控制砂轮转速，进行恒线速磨削；本发明采用光栅位移传感器实现异形轮廓的绘制，可实现任意形状玻璃毛坯的加工，且通过算法实现了玻璃磨边机恒线速度切削。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112490168B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202011494210.2
申请日：2020-12-16
Applicant: 福州大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/683
Abstract: 本发明涉及一种自动定位并校准晶圆中心的装置及方法，该装置包括基座、线性传感器、光纤、传感器固定座、晶圆吸盘装置、晶圆顶起机构、吸盘旋转机构、第一直线运动机构和第二直线运动机构，吸盘旋转机构安装于第一直线运动机构上，以在其驱动下前后移动，晶圆吸盘装置安装于吸盘旋转机构上，以在其驱动下旋转，晶圆吸盘装置上放置晶圆，以支撑并真空吸住晶圆，晶圆顶起机构安装于晶圆吸盘装置旁侧的基座上，以在校准误差时将晶圆从晶圆吸盘装置上顶起，线性传感器和光纤安装于传感器固定座上，传感器固定座位于晶圆旁侧并安装于第二直线运动机构上，以在其驱动下前后移动。该装置及方法有利于快速、精确地定位并校准晶圆中心。
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公开(公告)号：CN112570628A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202110017634.8
申请日：2021-01-07
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提出一种有完整伺服驱动系统的冲压铆钉机及其工作方法，其特征在于：伺服电机、丝杆机构、缸体、受压平台、压力传感器和控制器；所述丝杆机构将伺服电机输出轴的转动转换为缸体中的冲头的直线运动；所述受压平台位于冲头的直线运动路径上；所述压力传感器安装在受压平台底部；所述伺服电机和压力传感器分别与控制器构成电气连接，所述压力传感器作为伺服电机工作状态的触发开关。其在冲压铆钉时，由闭环伺服驱动系统控制铆接，保证了铆接的效率和精确的控制冲压的铆钉长度，从而保证稳定铆接和铆接的质量，并且可以生成压力随铆钉长度的变化曲线。
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公开(公告)号：CN112490168A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011494210.2
申请日：2020-12-16
Applicant: 福州大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/683
Abstract: 本发明涉及一种自动定位并校准晶圆中心的装置及方法，该装置包括基座、线性传感器、光纤、传感器固定座、晶圆吸盘装置、晶圆顶起机构、吸盘旋转机构、第一直线运动机构和第二直线运动机构，吸盘旋转机构安装于第一直线运动机构上，以在其驱动下前后移动，晶圆吸盘装置安装于吸盘旋转机构上，以在其驱动下旋转，晶圆吸盘装置上放置晶圆，以支撑并真空吸住晶圆，晶圆顶起机构安装于晶圆吸盘装置旁侧的基座上，以在校准误差时将晶圆从晶圆吸盘装置上顶起，线性传感器和光纤安装于传感器固定座上，传感器固定座位于晶圆旁侧并安装于第二直线运动机构上，以在其驱动下前后移动。该装置及方法有利于快速、精确地定位并校准晶圆中心。
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公开(公告)号：CN213519910U
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202023035004.3
申请日：2020-12-16
Applicant: 福州大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/683
Abstract: 本实用新型涉及一种自动定位并校准晶圆中心的装置，包括基座、线性传感器、光纤、传感器固定座、晶圆吸盘装置、晶圆顶起机构、吸盘旋转机构、第一直线运动机构和第二直线运动机构，吸盘旋转机构安装于第一直线运动机构上，以在其驱动下前后移动，晶圆吸盘装置安装于吸盘旋转机构上，以在其驱动下旋转，晶圆吸盘装置上放置晶圆，以支撑并真空吸住晶圆，晶圆顶起机构安装于晶圆吸盘装置旁侧的基座上，以在校准误差时将晶圆从晶圆吸盘装置上顶起，线性传感器和光纤安装于传感器固定座上，传感器固定座位于晶圆旁侧并安装于第二直线运动机构上，以在其驱动下前后移动。该装置有利于快速、精确地定位并校准晶圆中心。
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公开(公告)号：CN214290657U
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202120032801.1
申请日：2021-01-07
Applicant: 福州大学
Abstract: 本实用新型提出一种有完整伺服驱动系统的冲压铆钉机，其特征在于：伺服电机、丝杆机构、缸体、受压平台、压力传感器和控制器；所述丝杆机构将伺服电机输出轴的转动转换为缸体中的冲头的直线运动；所述受压平台位于冲头的直线运动路径上；所述压力传感器安装在受压平台底部；所述伺服电机和压力传感器分别与控制器构成电气连接，所述压力传感器作为伺服电机工作状态的触发开关。其在冲压铆钉时，由闭环伺服驱动系统控制铆接，保证了铆接的效率和精确的控制冲压的铆钉长度，从而保证稳定铆接和铆接的质量，并且可以生成压力随铆钉长度的变化曲线。
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