吸附方法和该方法中使用的介孔氧化铝

    公开(公告)号:CN116157199A

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202180057827.4

    申请日:2021-08-05

    Abstract: 提供一种属于元素周期表的第4周期~第6周期且第3族~第15族的元素的吸附方法。该方法包括:准备满足以下中的至少1者的介孔氧化铝:(1)表面羟基量为3.5mmol/g以上;(2)CO2升温脱附分析中的低温CO2脱附量为5μmol/g以上;和(3)NH3升温脱附分析中的低温NH3脱附量为25μmol/g以上;以及,使包含吸附对象元素的液体与上述介孔氧化铝接触以使该吸附对象元素吸附在上述介孔氧化铝。上述吸附对象元素为选自由属于元素周期表的第4~6周期且第3~15族的元素组成的组中的至少1种。

    研磨用组合物
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107207945A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201680006419.5

    申请日:2016-01-19

    Abstract: 本发明使用一种研磨用组合物,其在pH6以下的研磨用组合物中含有使磺酸固定于二氧化硅颗粒的表面而成的磺酸修饰胶体二氧化硅和水,此时,作为前述磺酸修饰胶体二氧化硅,使用源自通过包含如下工序的制造方法制造的磺酸修饰水性阴离子二氧化硅溶胶:第1反应工序,在具有能够化学转化成磺酸基的官能团的硅烷偶联剂的存在下,将微小颗粒的个数分布比率为10%以下的原料胶体二氧化硅进行加热而得到反应物,该微小颗粒具有基于由使用扫描型电子显微镜的图像解析得到的Heywood径(圆当量直径)的体积平均粒径的40%以下的粒径;第2反应工序,通过处理前述反应物而将前述官能团转化成磺酸基。在用于研磨包含SiN的研磨对象物的研磨用组合物中,用作磨粒时,可以提高SiN研磨速率的经时稳定性,且也可以降低过氧化氢的含量。

    二氧化硅溶胶
    9.
    发明公开
    二氧化硅溶胶 审中-公开

    公开(公告)号:CN118439621A

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202410143867.6

    申请日:2024-02-01

    Abstract: 本发明提供不凝胶化、高纯度且包含高浓度的二氧化硅颗粒的二氧化硅溶胶。所述二氧化硅溶胶包含二氧化硅颗粒和水,所述二氧化硅颗粒的平均一次粒径与所述二氧化硅颗粒的平均圆形度的乘积为15.0以上且31.2以下,所述二氧化硅颗粒的浓度为20质量%以上,每单位质量所述二氧化硅颗粒的总有机碳量小于10质量ppm,所述二氧化硅颗粒的浓度为20质量%时,25℃下的粘度为300mPa·s以下,金属杂质的浓度小于1质量ppm。

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