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公开(公告)号：CN115791822A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211393335.5
申请日：2022-11-08
Applicant: 磐柔(厦门)工业智能有限公司
Abstract: 本发明公开了晶圆表面缺陷的视觉检测算法，包括以下过程：a.分割和定位，获取晶圆原始图像，对晶圆原始图像进行分割，分割为单个晶粒图像，并对单个晶粒图像进行定位；b.预处理，将单个晶粒图像进行位置调节及亮度调节后得到待检测晶粒图像；c.表面缺陷检测，c1.将多个品相较好的晶粒图像作为训练样本进行训练后得到多个模板图像，通过模板图像的各像素的灰度平均值得到平均模板图像，计算待检测晶粒图像与平均模板图像的差异区域；c2.对差异区域进行定位并获得缺陷区域；c3.对晶圆的缺陷区域进行种类的划分。本发明还公开了一种晶圆表面缺陷的视觉检测系统。本发明为非接触式检测，可适用于复杂的晶圆图案的缺陷检测，精度高，稳定性好。
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