公开(公告)号：CN1864326A

公开(公告)日：2006-11-15

申请号：CN200480029158.6

申请日：2004-09-27

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： H·P·勒布尔 ,  R·F·米尔索姆 ,  C·梅茨马赫

IPC: H03H9/02

CPC classification number: H03H9/175 ,  H03H3/04 ,  H03H9/564 ,  H03H2003/0428 ,  Y10T29/42

Abstract: 为了提供一种谐振器结构(100)，特别是体声波(BAW)谐振器，诸如薄膜BAW谐振器(FBAR)或固体安装的BAW谐振器(SBAR)，包括：至少一个衬底(10)；涂敷或沉积在衬底(10)上的至少一个反射器层(20)；涂敷或沉积在反射器层(20)上的至少一个底部电极层(30)，特别是底部电极；涂敷或沉积在底部电极层(30)上的至少一个压电层(40)，特别是C轴正交压电层；至少一个顶部电极层(50)，特别是顶部电极，涂敷或沉积在底部电极层(30)和/或压电层(40)上以至于压电层(40)处于底部电极层(30)和顶部电极层(50)之间，提议在底部电极层(30)和顶部电极层(50)之间的至少一个非重叠区域中的至少一个空间中和/或上涂敷或沉积至少一个电介质层(63，65)。本发明也涉及制作所述谐振器结构的方法以及谐振器结构的应用。

公开(公告)号：CN1653687A

公开(公告)日：2005-08-10

申请号：CN03811351.1

申请日：2003-05-15

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： H·P·勒布尔 ,  R·F·米尔索姆 ,  M·K·克利 ,  R·基维特 ,  C·梅茨马赫

IPC: H03H9/05 ,  H03H9/13 ,  H03H9/58

CPC classification number: H03H9/564 ,  H03H9/568

Abstract: 一种体波谐振器，包括：衬底(1)；淀积在衬底上的压电材料层(3)；第一电极(2)和第二电极(4)，其设置在压电材料层(3)的相对表面上，第一电极(2)和第二电极(4)的重叠区域限定了体波谐振器的谐振范围，其特征在于，与至少其中一个电极(2，4)平行的相交平面中的重叠区域具有范围在1≤(b/a)≤100的长宽比，其中a是体波谐振器的长度，b是其宽度。本发明还涉及包括这种体波谐振器的体波滤波器。