液晶可调谐滤波器多光谱成像的半导体缺陷检测系统及方法

    公开(公告)号:CN117420148A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311231382.4

    申请日:2023-09-22

    Abstract: 本发明提供一种液晶可调谐滤波器多光谱成像的半导体缺陷检测系统及检测方法,应用于半导体缺陷检测领域,包括:连续可调谐光源单元、空间滤波单元、匀光调光自适应单元、光谱检测单元、计算机读取控制单元。由白光光源通过第一多级LCTF滤出单色光经空间滤波后通过匀光调光自适应单元得到均匀单色光,该单色光对样品进行光致发光由第二多级LCTF滤波后第二面阵CCD直接获取荧光二维光谱图像。通过调谐单色光的波长第二面阵CCD可得到不同波长激发下的荧光二维光谱图像并由第三面阵CCD获得二维吸收光谱图像。实现获取半导体横向和纵向分布缺陷信息的功能。本发明具有较高二维光谱成像效率,稳定性和空间分辨率,易于集成化、小型化。

    降噪方法、多层结构卷曲型复合吸声结构及吸声降噪方法

    公开(公告)号:CN118824219A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202411032257.5

    申请日:2024-07-30

    Abstract: 本发明涉及噪声控制技术领域,具体公开了一种降噪方法、多层结构卷曲型复合吸声结构及吸声降噪方法;所述吸声结构包括降噪结构单元、以及设置在降噪结构单元底部的底层单元;所述降噪结构单元包括多层依次层叠设置且用于对于不同频点噪声进行降噪的吸声降噪单元;多层所述吸声降噪单元位于底层单元的上方;每组所述吸声降噪单元设置有至少一组卷曲腔;声波进入吸声降噪单元内设置的卷曲腔内实现降噪。本发明在相同吸声面积下可设计出更多的吸声频点,提升吸声材料的低频性能,保证了高频性能衰减较少,从而使其整体吸声性能提升,且制作简单、降低了传统共振吸声结构在实际运用中的加工难度。

    一种基于视觉点云融合的在线多目标跟踪方法

    公开(公告)号:CN117745764A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202311852555.4

    申请日:2023-12-29

    Abstract: 本发明属于图像处理技术领域,具体地说是涉及一种基于视觉点云融合的在线多目标跟踪方法。本发明提供的视觉点云融合在线多目标跟踪方法,通过坐标系转换将二维检测数据投影到相机坐标系,融合图像点云信息,实现了相机和激光雷达的优势互补,解决了目标密集度高、环境亮度低等复杂场景下三维多目标跟踪困难的问题;采用球模型代表目标进行跟踪,相比于传统的长方体模型,降低计算维度,节省资源的同时提高速度,有利于算法在在线跟踪系统中的部署。本发明测试在公开数据集KITTI的验证集中进行,跟踪准确度、精度和速度相比其他方法均有明显提升。

    一种漫反射式双光路空气振动检测系统及方法

    公开(公告)号:CN112304415B

    公开(公告)日:2021-08-03

    申请号:CN202011190131.2

    申请日:2020-10-30

    Abstract: 本发明公开了一种漫反射式双光路空气振动检测系统,利用检测区域空气振动过程中对柔性物体表面形成的推动变形及不同位置存在时间差(相位差)的基本原理,利用双光束的方式对相距很近的两个点进行差分检测,进而获得振动的近似时间导数,实现振动位移微分性质的检测,再使用积分方式恢复原有的信号,有效地还原原始空气振动的波形;本发明通过双光束的方式消除了光源的不稳定、光传播过程干扰等一系列干扰因素,实现了空气振动的高效稳定检测。

    基于时间反转方法的空间任意点脉冲声聚焦系统及方法

    公开(公告)号:CN112394323A

    公开(公告)日:2021-02-23

    申请号:CN202011327617.6

    申请日:2020-11-24

    Abstract: 本发明公开了一种基于时间反转方法的空间任意点脉冲声聚焦系统,基于系统的方法为:确定待聚焦位置(xk,yk,zk),在待聚焦位置(xk,yk,zk)放置脉冲信号发射单元Ak(xk,yk,zk),并通过脉冲信号发射单元Ak(xk,yk,zk)发射脉冲声信号Ak;通过声信号接收阵列R(M,N)采集声信号,并对声信号进行时间反转处理,得到反转信号;通过声信号发射阵列F(M,N)发射反转信号,并将发射的反转信号汇聚于待聚焦位置(xk,yk,zk),得到时间反转脉冲声聚焦信号。本发明可以通过声发射的方式进行训练,因此在阵列聚焦时,可以方便的利用时间反转原理,在不同的时刻、位置生成声聚焦点,对微小的物体,利用声焦点的悬浮原理,可以通过调节焦点位置控制物体在空中进行各种运动。

    一种同时测量高反射/高透射光学元件的反射率、透过率、散射损耗和吸收损耗的方法

    公开(公告)号:CN107132029B

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN201710332425.6

    申请日:2017-05-12

    Abstract: 本发明涉及一种同时测量高反射/高透射光学元件的反射、透过、散射和吸收的方法,该方法基于光腔衰荡技术,先测量初始光学谐振腔的衰荡时间τ0,然后加入待测高反射/高透射光学元件,测量测试光学谐振腔的衰荡时间τ1,经计算得到高反射/高透射光学元件的反射率/透过率;同时测量高反射/高透射光学元件的透射/反射光强信号和散射光强信号与输出腔镜的透射光强信号的比值,通过定标得到高反射/高透射光学元件的反射率、透过率和散射损耗;光学元件的吸收损耗通过反射率、透过率和散射损耗求得。该测量方法不仅可测量高反射/高透射光学元件的反射率、透过率、散射损耗和吸收损耗,而且可对其分布实现高分辨率二维成像。

    一种光纤干涉式小孔内表面三维成像检测系统

    公开(公告)号:CN108489387A

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201810286181.7

    申请日:2018-04-03

    Abstract: 本发明公开一种光纤干涉式小孔内表面三维成像检测系统,实现对小孔内表面形貌精确三维成像及孔径、孔光洁度、孔圆度等信息的高精度测量。包括由激光光纤干涉单元1、微型90度出光光学系统2、导电滑环3、干涉信号处理单元4组成的可旋转式90度出光激光光纤干涉位移测量系统,由相机5组成的表面光学成像系统,由旋转平台驱动器6、旋转平台7、直线位移平台驱动器8、直线位移平台9组成的三维机械扫描系统和计算机10。系统利用激光光纤干涉位移测量系统,并结合三维机械扫描机构进行三维孔内表面点云扫描测量,并运用点云处理算法进行孔内表面三维重构,是一种新型的小孔内表面形貌及孔径、孔光洁度、孔圆度等信息的高精度、非接触、自动化三维测量系统。

    一种高反射腔镜透过率的标定方法

    公开(公告)号:CN107687935A

    公开(公告)日:2018-02-13

    申请号:CN201710332421.8

    申请日:2017-05-12

    Abstract: 本发明公开了一种高反射腔镜透过率的标定方法,该方法以高透射光学元件作为参考元件,基于光腔衰荡技术,先测量初始光学谐振腔的输出衰荡信号,拟合得到初始光学谐振腔的衰荡时间τ0;分别垂直和小角度倾斜插入参考高透射光学元件后,形成稳定测试光学谐振腔,分别测量参考高透射光学元件垂直和小角度倾斜时测试光学谐振腔的输出衰荡信号,拟合得到测试光学谐振腔的衰荡时间分别为τ1和τ2,经计算得到该参考高透射光学元件的剩余反射率;当参考高透射光学元件小角度倾斜时,测量参考高透射光学元件的反射光强信号与待标定高反射腔镜透射光强信号的比值,实现高反射腔镜透过率的标定。

    一种同时测量高反射/高透射光学元件的反射率、透过率、散射损耗和吸收 损耗的方法

    公开(公告)号:CN107132029A

    公开(公告)日:2017-09-05

    申请号:CN201710332425.6

    申请日:2017-05-12

    CPC classification number: G01M11/00

    Abstract: 本发明涉及一种同时测量高反射/高透射光学元件的反射、透过、散射和吸收的方法,该方法基于光腔衰荡技术,先测量初始光学谐振腔的衰荡时间τ0,然后加入待测高反射/高透射光学元件,测量测试光学谐振腔的衰荡时间τ1,经计算得到高反射/高透射光学元件的反射率/透过率;同时测量高反射/高透射光学元件的透射/反射光强信号和散射光强信号与输出腔镜的透射光强信号的比值,通过定标得到光学元件的透过率/反射率和散射损耗;光学元件的吸收损耗可以通过反射率、透过率和散射损耗求得。该测量方法不仅可测量高反射/高透射光学元件的反射率、透过率、散射损耗和吸收损耗,而且可对其分布实现高分辨率二维成像。

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