-
公开(公告)号:CN101527277B
公开(公告)日:2012-07-25
申请号:CN200910058508.6
申请日:2009-03-05
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L21/762 , H01L21/20 , H01L21/3065 , H01L21/31
Abstract: 本发明公开了一种双面介质槽部分SOI材料的制备方法,和常规键合工艺相比,本发明在键合前增加了如下步骤:1.顶层硅片上硅槽刻蚀;2.SiO2层的热生长和化学气相淀积;3.刻蚀去除位于源区和沟道区以下的SiO2层;4.淀积多晶硅;5.多晶硅平坦化。在本发明制备的SOI材料上制作的器件通过增强埋氧层电场,从而提高器件耐压,同时又能充分散热。本方法制备的SOI材料上制备的SOI器件与常规SOI结构的器件相比,可以用较薄的顶层硅和埋氧层来达到相同的耐压,进而降低了自热效应。
-
公开(公告)号:CN101527277A
公开(公告)日:2009-09-09
申请号:CN200910058508.6
申请日:2009-03-05
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L21/762 , H01L21/20 , H01L21/3065 , H01L21/31
Abstract: 本发明公开了一种双面介质槽部分SOI材料的制备方法,和常规键合工艺相比,本发明在键合前增加了如下步骤:1.顶层硅片上硅槽刻蚀;2.SiO2层的热生长和化学气相淀积;3.刻蚀去除位于源区和沟道区以下的SiO2层;4.淀积多晶硅;5.多晶硅平坦化。在本发明制备的SOI材料上制作的器件通过增强埋氧层电场,从而提高器件耐压,同时又能充分散热。本方法制备的SOI材料上制备的SOI器件与常规SOI结构的器件相比,可以用较薄的顶层硅和埋氧层来达到相同的耐压,进而降低了自热效应。
-
公开(公告)号:CN105827512A
公开(公告)日:2016-08-03
申请号:CN201610278375.3
申请日:2016-04-29
Applicant: 电子科技大学
CPC classification number: H04L51/22 , H04L67/1097
Abstract: 本发明公开了一种通过碎片化多云存储的电子邮件通信方法。本发明在发送带附件的邮件时,当附件大小超过预设阈值时,则直接上传附件文件本身,而是上传其对应的元数据,即对于认证用户向代理云发送的上传请求,代理云返回n个云端,发送方将带上传附件碎片化为n个数据块并分别上传到对应的云端,云数据用于记录待上传文件的分块信息、数据块的存储位置、包含发送方标识、附件标识符、收件方标识的下载授权信息;收件方接收邮件时,若附件为元数据,则首先检测元数据中是否存在下载授权信息,若是,则允许认证用户进行下载,即提取元数据的存储位置下载数据块,基于其分块信息组合各数据块,得到下载文件。本发明安全、快捷、支持断点续传。
-
-