一种制备柔性自供能集成压力传感阵列的方法

    公开(公告)号:CN109323781A

    公开(公告)日:2019-02-12

    申请号:CN201810952194.3

    申请日:2018-08-21

    Abstract: 本发明实施例公开了一种新型的自供能的柔性压力传感器阵列制备方法,其可以利用交叉电极形成电容式传感器阵列,并将太阳能电池柔性化集成到传感器阵列上,集成太阳能之后的传感器性能基本保持不变,在传感器和太阳能电池中间还增加了一个柔性电容器。本发明实施例的方法制备的传感器阵列可以在光照下正常工作,并且能够侦测出最小1Pa的压强,具有很好的线性度。并且该方法简单操作,成本较低,适合大规模生产化的需要。

Patent Agency Ranking