公开(公告)号：CN103647207A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201310676044.1

申请日：2013-12-11

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 刘爽 ,  陈逢彬 ,  刘思黎 ,  李尧 ,  史浩延 ,  叶恒 ,  吴易龙 ,  陆荣国 ,  何存玉 ,  熊流峰

IPC: H01S3/08 ,  G02B5/08 ,  G02B1/10

Abstract: 本发明公开了一种反射率较高的用于激光器谐振腔腔镜的反射膜及其制备方法。该用于激光器谐振腔腔镜的反射膜，包括内部真空的盒体，所述盒体的顶部采用透光材料制成，所述盒体内设置有基底以及多层高折射率膜层，所述多层高折射率膜层依次层叠的设置在基底的上表面，所述相邻的两层高折射率膜层之间设置有支撑柱，所述支撑柱使相邻的两层高折射率膜层之间存在间隙形成真空层。本发明所述的反射膜采用折射率更低的真空层替代传统的反射膜中的低折射率膜层，在不改变薄膜层数的前提下能大幅度提高反射膜的反射率，而且光波在真空层传播时没有能量损耗，能够在一定程度的提高输出光强，改善激光光束质量。适合在光器件领域推广应用。

公开(公告)号：CN103647207B

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201310676044.1

申请日：2013-12-11

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 刘爽 ,  陈逢彬 ,  刘思黎 ,  李尧 ,  史浩延 ,  叶恒 ,  吴易龙 ,  陆荣国 ,  何存玉 ,  熊流峰

IPC: H01S3/08 ,  G02B5/08 ,  G02B1/10

Abstract: 本发明公开了一种反射率较高的用于激光器谐振腔腔镜的反射膜及其制备方法。该用于激光器谐振腔腔镜的反射膜，包括内部真空的盒体，所述盒体的顶部采用透光材料制成，所述盒体内设置有基底以及多层高折射率膜层，所述多层高折射率膜层依次层叠的设置在基底的上表面，所述相邻的两层高折射率膜层之间设置有支撑柱，所述支撑柱使相邻的两层高折射率膜层之间存在间隙形成真空层。本发明所述的反射膜采用折射率更低的真空层替代传统的反射膜中的低折射率膜层，在不改变薄膜层数的前提下能大幅度提高反射膜的反射率，而且光波在真空层传播时没有能量损耗，能够在一定程度的提高输出光强，改善激光光束质量。适合在光器件领域推广应用。