公开(公告)号：CN112485298A

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN202011232049.1

申请日：2020-11-06

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 黎威志 ,  阳瑞霖 ,  刘坤林 ,  王轶德

IPC: G01N27/00

Abstract: 本发明公开了一种基于聚偏氟乙烯的柔性湿度传感器的制作方法，属于柔性传感器技术领域，包括以下步骤：(1)清洗硬质基底；(2)光刻成形；(3)沉积牺牲层和金属层并去除光刻胶；(4)高温退火；(5)制作柔性湿敏材料；(6)刻蚀牺牲层，即可得到柔性湿度传感器。本发明制得的柔性湿度传感器兼具柔性和强度，先在刚性基片上制作金属叉指电极，从而进行高温退火，有助于改善金属叉指电极的硬度，降低残余应力，解决柔性传感器普遍的迟滞较大的难题，同时使金属结构更加稳定，消除组织缺陷，从而提高柔性湿度传感器的整体性能。

公开(公告)号：CN113091811A

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN202110344806.2

申请日：2021-03-31

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 黎威志 ,  刘坤林 ,  苏元捷 ,  太惠玲 ,  顾德恩 ,  王洋 ,  袁柳

IPC: G01D21/02 ,  G01D5/24

Abstract: 本发明公开了一种柔性温压一体化传感器及其制备方法和应用，涉及柔性可穿戴电子领域，包括电容器介电层及分别粘合在电容器介电层上表面和下表面的柔性电极，所述电容器介电层为多孔PDMS薄膜，所述柔性电极为图形化的金属温敏薄膜。本发明所制得的柔性温压一体化传感器与其他类似传感器相比，采用叠层结构有效地减小的传感器的大小，金属温敏薄膜既作温度传感器又作平板电容极板，使敏感材料得到了重复利用，进一步减小了传感器的制备成本，提高了制备成功率；同时金属温敏薄膜作电容极板能起到屏蔽外来磁场干扰的作用，使得温度、压力各自的微小信号都能被探测到。