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公开(公告)号：CN119913618A
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202411977356.0
申请日：2024-12-30
Applicant: 甬江实验室
Abstract: 本申请公开了一种钽酸锂单晶薄膜制备方法及其应用，属于半导体技术领域。该制备方法包括如下步骤：提供载片、铌酸锂单晶衬底；在所述铌酸锂单晶衬底上外延生长钽酸锂单晶层；将所述铌酸锂单晶衬底的所述钽酸锂单晶层一面与所述载片通过固化胶进行键合，得到键合片；对所述键合片中的铌酸锂单晶衬底进行减薄，形成铌酸锂单晶薄膜；对所述铌酸锂单晶薄膜进行化学腐蚀至暴露出所述钽酸锂单晶层，得到键合于所述载片上的所述钽酸锂单晶薄膜。本申请可实现厚度可控的大尺寸(4‑12英寸)、高质量钽酸锂单晶薄膜的高质量批量制备，极大降低了工艺成本，提高了钽酸锂单晶薄膜的良品率，打通钽酸锂单晶薄膜的应用壁垒。
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公开(公告)号：CN119907267A
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202411942819.X
申请日：2024-12-25
Applicant: 甬江实验室
Abstract: 本申请公开了一种晶体管及其制备方法，属于半导体技术领域。所述晶体管包括：衬底层，以及依次层叠设置在所述衬底层上的键合层、栅电极层、栅介质层、沟道层，以及源漏电极层；其中，栅介质层的材料包括单晶钽酸锂，且栅介质层的厚度范围为[200nm，600nm]。本申请的技术方案旨在提供一种能实现宽波段响应、多模态感知的晶体管。
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公开(公告)号：CN119923184A
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202411845281.0
申请日：2024-12-13
Applicant: 甬江实验室
Abstract: 本发明公开了一种热释电红外探测器和热释电红外探测器的制造方法，所述热释电红外探测器包括：衬底；底电极层，所述底电极层设在所述衬底的上方且与所述衬底通过键和层相连，所述底电极层具有向上凸起的电极部；热释电功能层，所述热释电功能层设在所述底电极层的上方，所述热释电功能层上设有电极槽，所述电极部通过所述电极槽从所述热释电功能层的上表面露出；顶电极层，所述顶电极层设在所述热释电功能层的上表面且与所述电极部在水平方向上间隔开，并在顶部电极上制备红外吸收层。根据本发明实施例的热释电红外探测器具有工艺难度低、成本低、集成度高、可靠性强等优点。
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