公开(公告)号：CN109923655B

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN201780067250.9

申请日：2017-10-26

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 厄尼斯特·E·艾伦 ,  理查德·J·赫尔特 ,  杰伊·R·沃利斯 ,  基斯·A·米勒

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/027 ,  G03F1/74

Abstract: 一种离子束设备可包括台板，所述台板对衬底进行保持。衬底平面结构可设置在所述台板的前面。所述衬底平面结构中具有开口。所述设备还可包括可拆卸的结构，所述可拆卸的结构设置在所述衬底平面结构的所述开口中。所述可拆卸的结构可具有开口，所述可拆卸的结构的所述开口暴露出所述台板的表面。本公开的离子束设备可有利于直接进行维修。

公开(公告)号：CN109923655A

公开(公告)日：2019-06-21

申请号：CN201780067250.9

申请日：2017-10-26

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 厄尼斯特·E·艾伦 ,  理查德·J·赫尔特 ,  杰伊·R·沃利斯 ,  基斯·A·米勒

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/027 ,  G03F1/74

Abstract: 一种设备可包括台板，所述台板对衬底进行保持。衬底平面结构可设置在所述台板的前面。所述衬底平面结构中具有开口。所述设备还可包括可拆卸的结构，所述可拆卸的结构设置在所述衬底平面结构的所述开口中。所述可拆卸的结构可具有开口，所述可拆卸的结构的所述开口暴露出所述台板的表面。