公开(公告)号：CN107924805A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680049111.9

申请日：2016-08-17

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 杰伊·沃利斯 ,  厄尼斯特·艾伦 ,  理查德·赫尔特 ,  凯文·丹尼尔斯 ,  葛兰·吉尔克里斯特

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/67

Abstract: 一种离子束装置的气体喷射系统，所述气体喷射系统包括：提取板；提取孔，形成于提取板中以使离子束能够通过；第一气体分配器，可移除地固定至提取孔的第一侧上的提取板，第一气体分配器中形成有气体孔口；第二气体分配器，可移除地固定至提取孔的与第一侧相对的第二侧上的提取板，第二气体分配器中形成有气体孔口；第一气体导管，在第一气体分配器与安装至提取板的气体歧管之间延伸贯穿提取板；及第二气体导管，在第二气体分配器气体歧管之间延伸贯穿提取板；以及被连接至气体歧管的残留物移除气体源。

公开(公告)号：CN107924805B

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201680049111.9

申请日：2016-08-17

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 杰伊·沃利斯 ,  厄尼斯特·艾伦 ,  理查德·赫尔特 ,  凯文·丹尼尔斯 ,  葛兰·吉尔克里斯特

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/67

Abstract: 一种离子束装置的气体喷射系统，所述气体喷射系统包括：提取板；提取孔，形成于提取板中以使离子束能够通过；第一气体分配器，可移除地固定至提取孔的第一侧上的提取板，第一气体分配器中形成有气体孔口；第二气体分配器，可移除地固定至提取孔的与第一侧相对的第二侧上的提取板，第二气体分配器中形成有气体孔口；第一气体导管，在第一气体分配器与安装至提取板的气体歧管之间延伸贯穿提取板；及第二气体导管，在第二气体分配器与气体歧管之间延伸贯穿提取板；以及被连接至气体歧管的残留物移除气体源。本发明也提供一种对衬底施加残留物移除气体的方法。