片材粘贴装置及片材粘贴方法

    公开(公告)号:CN103531504A

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201310283590.9

    申请日:2013-07-08

    CPC classification number: H01L21/6836 H01L2221/68368

    Abstract: 一种片材粘贴装置及片材粘贴方法。本发明的片材粘贴装置(1)具备:框架收纳单元(3),其能够收纳多个经由粘接片材(AS)而与晶片(WF)一体化的环形框架(RF);支承单元(7),其支承环形框架(RF)及晶片(WF)中的至少环形框架(RF);移载单元(8),其从框架收纳单元(3)将环形框架(RF)取出并移载至支承单元(7);粘贴单元(9),其使粘接片材(AS)抵接并粘贴于被支承单元(7)支承的环形框架(RF)上、或环形框架(RF)及晶片(WF)上,框架收纳单元(3)能够将环形框架(RF)竖直收纳。

    抽出装置及抽出方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108473316B

    公开(公告)日:2021-09-21

    申请号:CN201680077895.6

    申请日:2016-12-22

    Inventor: 山口和寿

    Abstract: 抽出装置(10)是从使碳纳米管(CT)成长的成长体(CB)抽出延长体的装置,并且具备对成长体(CB)的一部分进行保持的保持机构(20)和使成长体(CB)与保持机构(20)相对移动的移动机构(30),保持机构(20)具备保持部件(22),该保持部件(22)具有将成长体(CB)的一部分收纳在内部的收纳机构(22A)。

    抽出装置及抽出方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108473316A

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201680077895.6

    申请日:2016-12-22

    Inventor: 山口和寿

    CPC classification number: C01B32/158 D02J1/22

    Abstract: 抽出装置(10)是从使碳纳米管(CT)成长的成长体(CB)抽出延长体的装置,并且具备对成长体(CB)的一部分进行保持的保持机构(20)和使成长体(CB)与保持机构(20)相对移动的移动机构(30),保持机构(20)具备保持部件(22),该保持部件(22)具有将成长体(CB)的一部分收纳在内部的收纳机构(22A)。

    抽出装置及抽出方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108473315A

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201680077996.3

    申请日:2016-12-22

    CPC classification number: C01B32/152 C01B32/158

    Abstract: 本发明提供一种抽出装置(10),其具备:支撑生长体(CB)的一部分的支撑单元(30)、使支撑单元(30)和生长体(CB)进行相对移动而从该生长体(CB)抽出延长体(CS)的移动单元(40),支撑单元(30)在将延长体(CS)抽出规定长度之后,进行再次支撑延长体(CS)的规定位置及与该延长体(CS)连续的生长体(CB)的一部分中的至少一方的重复支撑。

    抽出装置以及抽出方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108473313A

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201680077749.3

    申请日:2016-12-22

    Inventor: 山口和寿

    CPC classification number: C01B32/152 C01B32/158

    Abstract: 本发明提供一种抽出装置以及抽出方法。抽出装置(10)具有:支承生长体(CB)的一部分的支承机构(30)、以及使支承机构(30)与生长体(CB)相对移动的移动机构(40),支承机构(30)具有在与延长体(CS)的抽出方向正交的生长体(CB)的宽度方向上排列的多个支承部(32A),利用该多个支承部(32A)从单个生长体(CB)抽出多个延长体(CS)。

    片材粘贴装置及片材粘贴方法

    公开(公告)号:CN103531504B

    公开(公告)日:2018-02-13

    申请号:CN201310283590.9

    申请日:2013-07-08

    Abstract: 一种片材粘贴装置及片材粘贴方法。本发明的片材粘贴装置(1)具备:框架收纳单元(3),其能够收纳多个经由粘接片材(AS)而与晶片(WF)一体化的环形框架(RF);支承单元(7),其支承环形框架(RF)及晶片(WF)中的至少环形框架(RF);移载单元(8),其从框架收纳单元(3)将环形框架(RF)取出并移载至支承单元(7);粘贴单元(9),其使粘接片材(AS)抵接并粘贴于被支承单元(7)支承的环形框架(RF)上、或环形框架(RF)及晶片(WF)上,框架收纳单元(3)能够将环形框架(RF)竖直收纳。

    抽出装置及抽出方法
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108473315B

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN201680077996.3

    申请日:2016-12-22

    Abstract: 本发明提供一种抽出装置(10),其具备:支撑生长体(CB)的一部分的支撑单元(30)、使支撑单元(30)和生长体(CB)进行相对移动而从该生长体(CB)抽出延长体(CS)的移动单元(40),支撑单元(30)在将延长体(CS)抽出规定长度之后,进行再次支撑延长体(CS)的规定位置及与该延长体(CS)连续的生长体(CB)的一部分中的至少一方的重复支撑。

    抽出装置及抽出方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108473314A

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201680077882.9

    申请日:2016-12-22

    Inventor: 山口和寿

    CPC classification number: C01B32/152 C01B32/158

    Abstract: 抽出装置(10)是从使碳纳米管(CT)成长的成长体(CB)抽出碳纳米管(CT)的装置,具备:保持机构(20),其通过保持部件(25)对成长体(CB)的一部分进行保持;移动机构(30),其使成长体(CB)与保持机构(20)相对移动;保持机构(20)具备卷绕机构(22),该卷绕机构(22)将成长体(CB)的一部分卷绕于保持部件(25)。

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