公开(公告)号：CN100541156C

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200610121824.X

申请日：2006-08-24

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 石井修

IPC: G01L9/08 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L9/001 ,  G01L9/0033

Abstract: 本发明提供一种压力传感器，能克服为了降低成本而使圆筒型成型波纹管配置成串联状或同心圆状的压力传感器的缺点，即对来自与轴向垂直的方向的冲击的强度降低。该压力传感器具备：具有第一压力输入口(3a)和第二压力输入口(4a)的气密壳体(2)；具有与第一压力输入口连通的轴孔的圆筒型第一波纹管(10)；具有与第二压力输入口连通的轴孔、且与第一波纹管串联状配置的圆筒型第二波纹管(12)；固定配置于第一和第二波纹管各自的另一端之间的振动元件粘接底座(15)；由振动元件粘接底座支撑的薄板状压电振动元件(20)，压电振动元件的一端固定在第二壁面，另一端固定于振动元件粘接底座，气密壳体的内壁和振动元件粘接底座之间使用加强用弹性部件(50)连接。

公开(公告)号：CN101273256A

公开(公告)日：2008-09-24

申请号：CN200680035482.8

申请日：2006-09-25

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 石井修

IPC: G01L9/00 ,  H01L41/08 ,  H03H9/19

CPC classification number: G01L1/162 ,  G01L9/0022 ,  H03H9/0595 ,  H03H9/1035 ,  H03H9/21

Abstract: 本发明提供一种双音叉型压电振动元件及压力传感器，双音叉型压电振动元件具有：压电元件，其具有并联配置的两个臂部、及支撑该各臂部的两端的第一和第二支撑部；以及激励用电极，其形成在该各臂部的表面，该双音叉型压电振动元件具有适于作为压敏元件组装到压力传感器中的构造。双音叉型压电振动元件具有：压电元件(3)，其具有并联地分离配置的两个臂部(4、4)，和分别支撑各臂部的两端部的第一和第二支撑部(5、6)；以及激励用电极(7)，其形成在各臂部的表面上，通过用环状连接设置片(8)将第一和第二支撑部之间连接起来设置，来将两个臂部配置在环状连接设置片的内部空间内。

公开(公告)号：CN1920507A

公开(公告)日：2007-02-28

申请号：CN200610121824.X

申请日：2006-08-24

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 石井修

IPC: G01L9/08 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L9/001 ,  G01L9/0033

Abstract: 本发明提供一种压力传感器，能克服为了降低成本而使圆筒型成型波纹管配置成串联状或同心圆状的压力传感器的缺点，即对来自与轴向垂直的方向的冲击的强度降低。该压力传感器具备：具有第一压力输入口(3a)和第二压力输入口(4a)的气密壳体(2)；具有与第一压力输入口连通的轴孔的圆筒型第一波纹管(10)；具有与第二压力输入口连通的轴孔、且与第一波纹管串联状配置的圆筒型第二波纹管(12)；固定配置于第一和第二波纹管各自的另一端之间的振动元件粘接底座(15)；由振动元件粘接底座支撑的薄板状压电振动元件(20)，压电振动元件的一端固定在第二壁面，另一端固定于振动元件粘接底座，气密壳体的内壁和振动元件粘接底座之间使用加强用弹性部件(50)连接。