公开(公告)号：CN108761137A

公开(公告)日：2018-11-06

申请号：CN201810720887.X

申请日：2018-07-04

Applicant: 燕山大学

Inventor： 陈建超 ,  安小广 ,  冯世绪 ,  辛绍贺 ,  王加春

IPC: G01Q40/00

Abstract: 本发明提供了一种AFM针尖磨损测量方法，属于原子显微镜的探针标定技术领域。包括如下步骤，基于已知针尖尺寸的AFM获取纳米台阶的台阶宽度L1；基于待测针尖尺寸的AFM获取相同的纳米台阶的台阶宽度L2；根据所述台阶宽度L1和L2的差值，获取待测针尖的半径尺寸。本发明提供的AFM针尖磨损测量方法，通过基于已知针尖尺寸的AFM与待测针尖尺寸的AFM测量相同的纳米台阶结构，并依据可直接获取的结构参数计算获得待测针尖的尺寸参数，操作简单，可以实时进行测量，为AFM的测量和实验结果分析提供准确的针尖结构数据，测量结果真实可靠。

公开(公告)号：CN109884347A

公开(公告)日：2019-06-14

申请号：CN201910138130.4

申请日：2019-02-25

Applicant: 燕山大学

Inventor： 陈建超 ,  安小广 ,  肖联榜 ,  李海瑞 ,  王加春 ,  冯世绪

IPC: G01Q60/38

Abstract: 本发明涉及一种AFM轻敲模式下延缓探针针尖磨损的方法，其通过利用相位突变表征针尖磨损加剧时的不振现象，即零幅值现象，主要包括以下步骤：(1)利用AFM高速数据采集模块获取探针振动过程中的相位变化图。(2)观察相位图中是否存在相位突变(相位值的瞬时增大)。(3)若图中存在非偶然的相位突变，则适当增大幅值设定点、增大自由振幅、降低扫描速度。(4)重复步骤1、步骤2和步骤3，直至探针相位图中相位突变被消除。(5)完成优化，以此时的扫描参数扫描样品表面。本发明能够实时在线观测到探针针尖的磨损情况，并能够实时调整扫描参数以降低针尖的磨损速度。从而降低针尖的磨损速度，延长探针的使用寿命，节约实验成本。

公开(公告)号：CN108761137B

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201810720887.X

申请日：2018-07-04

Applicant: 燕山大学

Inventor： 陈建超 ,  安小广 ,  冯世绪 ,  辛绍贺 ,  王加春

IPC: G01Q40/00

Abstract: 本发明提供了一种AFM针尖磨损测量方法，属于原子显微镜的探针标定技术领域。包括如下步骤，基于已知针尖尺寸的AFM获取纳米台阶的台阶宽度L1；基于待测针尖尺寸的AFM获取相同的纳米台阶的台阶宽度L2；根据所述台阶宽度L1和L2的差值，获取待测针尖的半径尺寸。本发明提供的AFM针尖磨损测量方法，通过基于已知针尖尺寸的AFM与待测针尖尺寸的AFM测量相同的纳米台阶结构，并依据可直接获取的结构参数计算获得待测针尖的尺寸参数，操作简单，可以实时进行测量，为AFM的测量和实验结果分析提供准确的针尖结构数据，测量结果真实可靠。