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发明公开
用于检测待测物离子活度的离子敏薄膜晶体管及检测方法无效

公开(公告)号：CN114076789A

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202111363094.5

申请日：2021-11-17

Applicant: 潍柴动力股份有限公司 , 潍坊潍柴动力科技有限责任公司

Inventor： 张钧凯 , 史家涛 , 赵光亮 , 杨英振 , 李文学

IPC: G01N27/414 , H01L29/423 , H01L29/786

Abstract: 本发明提供一种用于检测待测物离子活度的离子敏薄膜晶体管及检测方法，该离子敏薄膜晶体管包括依次层叠设置的衬底、敏感介质层和有源层，所述有源层上设有源极和漏极；所述敏感介质层表面具有第一区域和第二区域，所述有源层位于所述第一区域，所述第二区域用于与所述待测物接触。该离子敏薄膜晶体管不仅稳定性好、体积小、结构简单，而且制备方法简单、成本低，响应快。

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