配气装置
    1.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218653906U

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202222931317.X

    申请日:2022-11-03

    Abstract: 本实用新型提供了一种配气装置。配气装置包括:多个气体缓存装置;输送管路,输送管路的进气端可选择性地与至少一个气体缓存装置连通;调整装置,用于调整输送管路内气体的流量或者流速;储气结构,储气结构与输送管路的排气端连通;压力检测装置,用于检测储气结构内的压力值;各气体缓存装置依次向储气结构内输送气体,待第n个气体缓存装置完成气体输送后,压力检测装置的气压检测值为Pn,储气结构内各种气体的体积比为P1:(P2‑P1):(P3‑P2):(P4‑P3):...:(Pn‑Pn‑1),将体积比与预设体积比作比对,根据比对结果控制调整装置,直至体积比与预设体积比一致。本实用新型解决了现有技术中配气装置的配气精度较差的问题。

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