一种硅基纳米复合膜阳光玻璃的制备方法

    公开(公告)号:CN112851141B

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202110299506.7

    申请日:2021-03-19

    Abstract: 本发明公开了一种硅基纳米复合膜阳光玻璃的制备方法,包括如下步骤:(1)将有机锡化合物、有机硅化合物、H2O、空气和N2送入第一蒸发器进行蒸发混合,获得第一混合气体;(2)将SiH4、C2H4和N2混合均匀,获得第二混合气体;(3)将上述第一混合气体通过第一镀膜反应装置均匀化学气相沉积于650‑670℃的玻璃基板上,获得SnSiOx膜层;(4)将上述第二混合气体通过第二镀膜反应装置均匀化学气相沉积于600‑650℃的上述玻璃基板的SnSiOx膜层上,获得SiC:Si膜层。本发明制得的硅基纳米复合膜阳光玻璃的性能指标:如折射率、遮阳系数、U值等,均达到国际性能指标,解决幕墙玻璃“光污染”与紫外线照射损伤问题,膜层性能更好。

    一种硅基纳米复合膜阳光玻璃的制备方法

    公开(公告)号:CN112851141A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202110299506.7

    申请日:2021-03-19

    Abstract: 本发明公开了一种硅基纳米复合膜阳光玻璃的制备方法,包括如下步骤:(1)将有机锡化合物、有机硅化合物、H2O、空气和N2送入第一蒸发器进行蒸发混合,获得第一混合气体;(2)将SiH4、C2H4和N2混合均匀,获得第二混合气体;(3)将上述第一混合气体通过第一镀膜反应装置均匀化学气相沉积于650‑670℃的玻璃基板上,获得SnSiOx膜层;(4)将上述第二混合气体通过第二镀膜反应装置均匀化学气相沉积于600‑650℃的上述玻璃基板的SnSiOx膜层上,获得SiC:Si膜层。本发明制得的硅基纳米复合膜阳光玻璃的性能指标:如折射率、遮阳系数、U值等,均达到国际性能指标,解决幕墙玻璃“光污染”与紫外线照射损伤问题,膜层性能更好。

Patent Agency Ranking