公开(公告)号：CN203284326U

公开(公告)日：2013-11-13

申请号：CN201320318183.2

申请日：2013-06-04

Applicant: 漳州旗滨玻璃有限公司 ,  株洲旗滨集团股份有限公司

Inventor： 邵景楚 ,  候英兰 ,  杨斌 ,  兰明雄 ,  徐海滨 ,  沈阮顺 ,  吴剑波 ,  江亚聪 ,  周炳元 ,  郑崇 ,  刘屹 ,  张炼文 ,  殷雄师 ,  殷丹 ,  谭少时 ,  龙文杰 ,  袁玲 ,  黄建荣

IPC: C03C17/34

Abstract: 本实用新型公开了一种在线透明导电膜玻璃镀膜装置，包括安装于锡槽腔内的多槽镀膜机反应器和单槽镀膜机反应器，多槽镀膜反应器和单槽镀膜反应器沿玻璃基板的前进方向进行排列安装，实现化学气相沉积三层薄膜层的复合结构。本实用新型采用上述结构进行镀膜精细化生产操作，解决镀膜宽板边部与中间由于温差易引起的膜层不均匀现象，获得大面积薄膜高效均匀沉积，其板宽可达3660mm的稳定生产，提高产品质量和成品率达75%。