一种具有胀流特性的柔性磨具及其抛光方法

    公开(公告)号:CN109894990A

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201910221152.7

    申请日:2019-03-22

    Abstract: 一种具有胀流特性的柔性磨具,所述柔性磨具是由水凝胶、胀流相、磨料、凝固剂组成的固态磨具,抛光过程中,水凝胶和凝固剂会缓慢逐渐溶解,释放出胀流相和磨料,在水溶液的参与下形成胀流抛光液,胀流抛光液产生胀流现象,粘度上升,胀流抛光液会吸附在工件表面,在磨具膨胀产生的载荷和夹具提供的剪切速率双重作用下,实现磨具对工件表面的柔性抛光。以及提供一种具有胀流特性的柔性磨具实现的抛光方法。本发明具有胀流特性的柔性磨具有着使用方便、易储存、低经济成本等优点;由于磨具的胀流特性和柔性抛光,磨具能够适应多种面型(平面、简单或复杂曲面),能够获得无/低表面损伤或亚表面损伤的工件。

    一种电化学增稠抛光方法

    公开(公告)号:CN109877657A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910221630.4

    申请日:2019-03-22

    Abstract: 一种电化学增稠抛光方法,包括如下步骤:1)选用工件夹具;2)将工件装夹在工件夹具上;3)配置具有可电化学增稠的抛光液,并将抛光液置于抛光液箱内;4)启动主轴和抛光液箱水泵,形成抛光液循环系统,将抛光液经夹具输入到抛光盘上,使得抛光液在抛光盘上相对运动;5)粗抛:使工件在抛光液下抛光一段时间;6)精抛:启动工件夹具内部电化学增稠发生器,输入到反应池的抛光液发生变化,形成电化学增稠抛光液;与此同时,增稠抛光液经微型水泵输入到抛光盘上,实现对工件的电化学增稠抛光。本发明粗抛减少总抛光时间,精抛(电化学增稠抛光)可获得表面质量高、无/低表面损伤的工件。

    一种剪切增稠-电泳复合抛光装置

    公开(公告)号:CN109877658B

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN201910231081.9

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 一种剪切增稠‑电泳复合抛光装置,包括抛光垫、直流电源、主轴、抛光盘、第一电极、机械臂、工件夹具、集液器和抛光液池,所述工件夹具为第二电极,直流电源的正负极分别与所述第一电极、第二电极连接;所述的抛光盘在主轴上,由主轴带动抛光盘,第一电极在抛光盘上,绝缘层在第一电极上,抛光垫在所述绝缘层上,工件夹具位于抛光垫的上方,机械臂上设有工件夹具;所述抛光盘位于所述抛光液池内,所述抛光液池的回流口与集液器连接,所述集液器与输液管连接,所述输液管的出口为加工工位。本发明提供一种高效的、低/无表面损伤或亚表面损伤的剪切增稠‑电泳复合超精密抛光装置。

    一种具有胀流特性的柔性磨具及其抛光方法

    公开(公告)号:CN109894990B

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN201910221152.7

    申请日:2019-03-22

    Abstract: 一种具有胀流特性的柔性磨具,所述柔性磨具是由水凝胶、胀流相、磨料、凝固剂组成的固态磨具,抛光过程中,水凝胶和凝固剂会缓慢逐渐溶解,释放出胀流相和磨料,在水溶液的参与下形成胀流抛光液,胀流抛光液产生胀流现象,粘度上升,胀流抛光液会吸附在工件表面,在磨具膨胀产生的载荷和夹具提供的剪切速率双重作用下,实现磨具对工件表面的柔性抛光。以及提供一种具有胀流特性的柔性磨具实现的抛光方法。本发明具有胀流特性的柔性磨具有着使用方便、易储存、低经济成本等优点;由于磨具的胀流特性和柔性抛光,磨具能够适应多种面型(平面、简单或复杂曲面),能够获得无/低表面损伤或亚表面损伤的工件。

    主动控制剪切作用与温度诱导梯度增稠抛光方法

    公开(公告)号:CN109822401A

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201910246394.1

    申请日:2019-03-29

    Abstract: 一种主动控制剪切作用与温度诱导梯度增稠抛光方法,包括以下步骤:1)选用工件夹具;2)将工件装夹在工件夹具上;3)配置具有温度诱导梯度增稠效应的抛光液,并将抛光液置于抛光液箱内;4)启动主轴和水泵,将抛光液输入到抛光盘上,使得抛光液在抛光盘上相对运动,形成抛光液循环系统;5)使工件在大剪切作用下粗抛;6)使用温度传感器,监测到抛光液的温度T℃,启动变温棒,每隔一段时间梯度调整抛光液温度、结合主动剪切速率控制,即每隔一段时间抛光液粘度增大,造成抛光液梯度增稠,实现温度诱导梯度增稠抛光。本发明提供一种抛光效率较高、抛光过程可控性和灵活性良好的主动控制剪切温度诱导梯度增稠抛光方法。

    主动控制剪切作用与温度诱导梯度增稠抛光方法

    公开(公告)号:CN109822401B

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN201910246394.1

    申请日:2019-03-29

    Abstract: 一种主动控制剪切作用与温度诱导梯度增稠抛光方法,包括以下步骤:1)选用工件夹具;2)将工件装夹在工件夹具上;3)配置具有温度诱导梯度增稠效应的抛光液,并将抛光液置于抛光液箱内;4)启动主轴和水泵,将抛光液输入到抛光盘上,使得抛光液在抛光盘上相对运动,形成抛光液循环系统;5)使工件在大剪切作用下粗抛;6)使用温度传感器,监测到抛光液的温度T℃,启动变温棒,每隔一段时间梯度调整抛光液温度、结合主动剪切速率控制,即每隔一段时间抛光液粘度增大,造成抛光液梯度增稠,实现温度诱导梯度增稠抛光。本发明提供一种抛光效率较高、抛光过程可控性和灵活性良好的主动控制剪切温度诱导梯度增稠抛光方法。

    主动控制剪切作用与温度诱导梯度增稠抛光加工装置

    公开(公告)号:CN109822428B

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN201910246402.2

    申请日:2019-03-29

    Abstract: 一种主动控制剪切作用与温度诱导梯度增稠抛光加工装置,包括工件夹具、抛光盘、抛光垫、抛光液池、主轴、抛光液箱、温度传感器、变温棒和水泵,所述抛光盘安装在主轴上,抛光垫安装在抛光盘上;所述工件夹具在抛光盘的上方,工件装夹在工件夹具上;所述的抛光液箱在抛光液池的左下方,抛光液池安装在抛光盘下方,输液管连接抛光液池与抛光液箱,水泵安装在抛光液箱中,水泵与输液管连接;所述的温度传感器安装在工件夹具内,其触头与工件抛光区域抛光液接触;所述的变温棒安装在工件夹具内;所述抛光液箱内为具有温度诱导梯度增稠效应的抛光液。本发明提供一种抛光效率较高、抛光过程可控性和灵活性良好的主动控制剪切温度诱导梯度增稠抛光加工装置。

    一种磁场可控的缓释磁性物质稠化液流抛光垫及抛光方法

    公开(公告)号:CN110788743B

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN201910897900.3

    申请日:2019-09-23

    Abstract: 一种磁场可控的缓释磁性物质稠化液流抛光垫,抛光垫为多层叠加的多孔式耐磨抛光垫,抛光垫中预留孔隙,其内部嵌有磨料胶囊,胶囊内含有磁性磨料、增稠相和酸碱剂。以及提供一种应用磁场可控的缓释磁性物质稠化液流抛光垫的抛光方法,外加磁场后,抛光垫内的磨料胶囊受到磁场作用,其中的磁性磨料冲击胶囊外壳,磁场强度足够时胶囊被冲击碎裂,抛光物质沿孔隙释放出来,逐渐分散溶解在水溶液中,形成缓释磁性物质稠化液流抛光液;磁场撤消后,磨料胶囊停止释放抛光物质,抛光液浓度不再变化。抛光中磁场作用于磁性磨料,在增稠相稠化液流的基础上,进一步增强了抛光液的稠化液流特性,提高了抛光效率。本发明抛光垫的使用寿命长,抛光效率高。

    一种剪切增稠-电泳复合抛光装置

    公开(公告)号:CN109877658A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910231081.9

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 一种剪切增稠-电泳复合抛光装置,包括抛光垫、直流电源、主轴、抛光盘、第一电极、机械臂、工件夹具、集液器和抛光液池,所述工件夹具为第二电极,直流电源的正负极分别与所述第一电极、第二电极连接;所述的抛光盘在主轴上,由主轴带动抛光盘,第一电极在抛光盘上,绝缘层在第一电极上,抛光垫在所述绝缘层上,工件夹具位于抛光垫的上方,机械臂上设有工件夹具;所述抛光盘位于所述抛光液池内,所述抛光液池的回流口与集液器连接,所述集液器与输液管连接,所述输液管的出口为加工工位。本发明提供一种高效的、低/无表面损伤或亚表面损伤的剪切增稠-电泳复合超精密抛光装置。

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