公开(公告)号：CN114289390A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202111647490.0

申请日：2021-12-30

Applicant: 湖南科技大学

Inventor： 邓源 ,  王振生 ,  王文韫 ,  吴上阿蒙 ,  李海星 ,  易轶杰

IPC: B08B3/04 ,  B08B3/08 ,  B08B13/00 ,  F26B5/04 ,  F26B23/00

Abstract: 本发明涉一种硅料清洗系统。硅料清洗系统包括清洗料篮组件、清洁装置、漂洗装置、加热装置、干燥装置及转运机器人。清洁装置、漂洗装置、加热装置及干燥装置均包括硅料清洗单元，并依次围绕转运机器人布设。硅料清洗单元包括壳体、自动封盖组件及旋转组件。自动封盖组件包括盖体及封盖驱动件。封盖驱动件用于驱动盖体相对于壳体翻转，以密封盖合或打开进出料口。旋转组件包括转盘及旋转驱动件。旋转驱动件用于提供一驱使转盘自转的驱动力。干燥装置还包括抽真空机构。转运机器人用于将清洗料篮组件放入壳体内并定位在定位部上，还用于将清洗料篮组件从定位部上取下并抓取出壳体。上述硅料清洗系统具有较高的稳定可靠性和较小的占地面积。