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公开(公告)号：CN109443246A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811449854.2
申请日：2018-11-30
Applicant: 湖北工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开了基于无衍射光莫尔条纹的轴锥镜锥角检测装置及方法，检测装置包括光源，沿光源出射光束方向依次设置有滤光片、双孔屏、轴锥镜和图像传感器，滤光片平行置于遮光板内，轴锥镜的锥面朝向图像传感器。光源出射的光束经滤光片滤光投射到双孔屏上，光束经双孔屏分光形成两路光束从轴锥镜平面入射，每路光束经轴锥镜后以其轴线为基准汇聚到轴线不同点上，形成无衍射光，图像传感器采集所述两路无衍射光干涉图，根据所述两路无衍射光在轴锥镜后方形成的两个同心圆环的中心位置，以及两个同心圆环相互重叠干涉形成的莫尔条纹数量计算出轴锥镜的轴锥角。
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公开(公告)号：CN109443246B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201811449854.2
申请日：2018-11-30
Applicant: 湖北工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开了基于无衍射光莫尔条纹的轴锥镜锥角检测装置及方法，检测装置包括光源，沿光源出射光束方向依次设置有滤光片、双孔屏、轴锥镜和图像传感器，滤光片平行置于遮光板内，轴锥镜的锥面朝向图像传感器。光源出射的光束经滤光片滤光投射到双孔屏上，光束经双孔屏分光形成两路光束从轴锥镜平面入射，每路光束经轴锥镜后以其轴线为基准汇聚到轴线不同点上，形成无衍射光，图像传感器采集所述两路无衍射光干涉图，根据所述两路无衍射光在轴锥镜后方形成的两个同心圆环的中心位置，以及两个同心圆环相互重叠干涉形成的莫尔条纹数量计算出轴锥镜的轴锥角。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110274551B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201910509716.7
申请日：2019-06-13
Applicant: 湖北工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种基于白光零差干涉的高灵敏表面形貌测量系统，其包括白光光源(1)、第一透镜(2)、第二透镜(3)、第一分光镜(4)、第二分光镜(5)、参考镜(6)、被测物(7)、闭环PZT(8)、反射镜(9)、第三分光镜(10)、第一光电探测器(11)、第二光电探测器(12)、频谱分析仪(13)和计算机(14)。本发明结构简单，利用白光光谱很宽，相干长度短的特点，且干涉零级条纹具有较好的对比度，其光强值也明显大于其它条纹。一次干涉后是暗条纹或亮条纹，斜率为零。经过二次干涉(零差探测)，斜率达到最大，以此来提高灵敏度。其中使用的闭环PZT可起到反馈的作用，减小外界的干扰，具有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN109523565B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201811360167.3
申请日：2018-11-15
Applicant: 湖北工业大学
Abstract: 本发明涉及一种无衍射光莫尔条纹中心定位方法和系统。该方法包括以下步骤：步骤一、对含有噪声的无衍射光莫尔条纹进行图像预处理，提取局部同心圆环区域；步骤二、针对步骤一处理的图像，进行一系列形态学处理；步骤三、针对步骤二处理的图像，进行局部同心圆环检测；步骤四、针对步骤三处理的图像，对初始圆心集进行聚类分析，删除聚类后两组圆心集内的异常点，迭代求取两组圆心集的中心点即可实现无衍射光莫尔条纹定位。本发明能同时对无衍射光莫尔条纹两光斑中心进行定位，自动化程度强，定位精度高，适用范围广，有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN110274551A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910509716.7
申请日：2019-06-13
Applicant: 湖北工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种基于白光零差干涉的高灵敏表面形貌测量系统，其包括白光光源(1)、第一透镜(2)、第二透镜(3)、第一分光镜(4)、第二分光镜(5)、参考镜(6)、被测物(7)、闭环PZT(8)、反射镜(9)、第三分光镜(10)、第一光电探测器(11)、第二光电探测器(12)、频谱分析仪(13)和计算机(14)。本发明结构简单，利用白光光谱很宽，相干长度短的特点，且干涉零级条纹具有较好的对比度，其光强值也明显大于其它条纹。一次干涉后是暗条纹或亮条纹，斜率为零。经过二次干涉(零差探测)，斜率达到最大，以此来提高灵敏度。其中使用的闭环PZT可起到反馈的作用，减小外界的干扰，具有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN109974617A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910258078.6
申请日：2019-04-01
Applicant: 湖北工业大学
Abstract: 本发明属于多波长干涉测量技术领域，公开了一种多波长干涉测量中光强一致性的控制方法，获得多组滤光片的测量电压值，根据测量电压值反馈控制光源驱动电流，进行光强一致性的初步控制；根据CCD采集的干涉灰度图像获得信息容量值，根据信息容量值反馈控制光源驱动电流，进行光强一致性的精细控制。本发明解决了现有技术中多波长干涉微表面形貌干涉测量系统中存在波长切换时光强不一致的问题，从源头提高多波长干涉测量的精度，能够极大地提高后续测量结果的精度和可靠性。
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公开(公告)号：CN109523565A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811360167.3
申请日：2018-11-15
Applicant: 湖北工业大学
Abstract: 本发明涉及一种无衍射光莫尔条纹中心定位方法和系统。该方法包括以下步骤：步骤一、对含有噪声的无衍射光莫尔条纹进行图像预处理，提取局部同心圆环区域；步骤二、针对步骤一处理的图像，进行一系列形态学处理；步骤三、针对步骤二处理的图像，进行局部同心圆环检测；步骤四、针对步骤三处理的图像，对初始圆心集进行聚类分析，删除聚类后两组圆心集内的异常点，迭代求取两组圆心集的中心点即可实现无衍射光莫尔条纹定位。本发明能同时对无衍射光莫尔条纹两光斑中心进行定位，自动化程度强，定位精度高，适用范围广，有良好的应用前景。
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