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公开(公告)号：CN109523565B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201811360167.3
申请日：2018-11-15
Applicant: 湖北工业大学
Abstract: 本发明涉及一种无衍射光莫尔条纹中心定位方法和系统。该方法包括以下步骤：步骤一、对含有噪声的无衍射光莫尔条纹进行图像预处理，提取局部同心圆环区域；步骤二、针对步骤一处理的图像，进行一系列形态学处理；步骤三、针对步骤二处理的图像，进行局部同心圆环检测；步骤四、针对步骤三处理的图像，对初始圆心集进行聚类分析，删除聚类后两组圆心集内的异常点，迭代求取两组圆心集的中心点即可实现无衍射光莫尔条纹定位。本发明能同时对无衍射光莫尔条纹两光斑中心进行定位，自动化程度强，定位精度高，适用范围广，有良好的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107036552B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201710250709.0
申请日：2017-04-17
Applicant: 湖北工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于光学相移的跨尺度表面形貌测量装置及方法，装置包括计算机、光强可控式白光光源、第一透镜、滤光片旋转盘、分光棱镜、第二透镜、第三透镜、CCD相机、空间光调制器SLM、第四透镜；本发明利用纯相位调制式液晶空间光调制器实现精确的光学相移，应用光强可调的白光光源和四个带通滤波片得到四种光强分布一致的单色光，并利用多波长干涉的原理，通过合理尺寸衔接实现测量范围的拓展。在重复光学相移中，以轮换滤光片方式获取不同波长的干涉图像序列，并运用优化的四步相移法进行逐点逐帧相位运算，得到大尺度范围内形貌点高度。本发明既能满足跨尺度的测量范围要求，又能保持单波长干涉的纳米精度，具有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN107014310B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201710325737.4
申请日：2017-05-10
Applicant: 湖北工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种多波长干涉测量中提高PZT相移调制起点对齐精度的方法，在PZT实现相移的多波长干涉测量中，由于PZT的非线性和迟滞性而带来的各波长测量起点位置不一致的问题，需要对相移起点位置进行对齐，现有方法起点对齐精度的不高，影响测量结果。本发明在粗对齐的基础上，寻找同时满足三种条件的零级干涉条纹点：单波长初相位很小、近波长相位差很小、远波长相位差很小。根据找到的零级干涉条纹上的点，利用算法对各波长粗对齐的初相位进行进一步精对齐，实现各波长相移起点位置高精度对齐，从而提高测量精度。解决了在多波长干涉测量过程中由于初相位对齐精度不高而带来的测量误差，极大地提高了后续测量结果的精度和可靠性。
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公开(公告)号：CN107036552A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710250709.0
申请日：2017-04-17
Applicant: 湖北工业大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明公开了一种基于光学相移的跨尺度表面形貌测量装置及方法，装置包括计算机、光强可控式白光光源、第一透镜、滤光片旋转盘、分光棱镜、第二透镜、第三透镜、CCD相机、空间光调制器SLM、第四透镜；本发明利用纯相位调制式液晶空间光调制器实现精确的光学相移，应用光强可调的白光光源和四个带通滤波片得到四种光强分布一致的单色光，并利用多波长干涉的原理，通过合理尺寸衔接实现测量范围的拓展。在重复光学相移中，以轮换滤光片方式获取不同波长的干涉图像序列，并运用优化的四步相移法进行逐点逐帧相位运算，得到大尺度范围内形貌点高度。本发明既能满足跨尺度的测量范围要求，又能保持单波长干涉的纳米精度，具有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN109523565A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811360167.3
申请日：2018-11-15
Applicant: 湖北工业大学
Abstract: 本发明涉及一种无衍射光莫尔条纹中心定位方法和系统。该方法包括以下步骤：步骤一、对含有噪声的无衍射光莫尔条纹进行图像预处理，提取局部同心圆环区域；步骤二、针对步骤一处理的图像，进行一系列形态学处理；步骤三、针对步骤二处理的图像，进行局部同心圆环检测；步骤四、针对步骤三处理的图像，对初始圆心集进行聚类分析，删除聚类后两组圆心集内的异常点，迭代求取两组圆心集的中心点即可实现无衍射光莫尔条纹定位。本发明能同时对无衍射光莫尔条纹两光斑中心进行定位，自动化程度强，定位精度高，适用范围广，有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN107014310A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201710325737.4
申请日：2017-05-10
Applicant: 湖北工业大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明公开了一种多波长干涉测量中提高PZT相移调制起点对齐精度的方法，在PZT实现相移的多波长干涉测量中，由于PZT的非线性和迟滞性而带来的各波长测量起点位置不一致的问题，需要对相移起点位置进行对齐，现有方法起点对齐精度的不高，影响测量结果。本发明在粗对齐的基础上，寻找同时满足三种条件的零级干涉条纹点：单波长初相位很小、近波长相位差很小、远波长相位差很小。根据找到的零级干涉条纹上的点，利用算法对各波长粗对齐的初相位进行进一步精对齐，实现各波长相移起点位置高精度对齐，从而提高测量精度。解决了在多波长干涉测量过程中由于初相位对齐精度不高而带来的测量误差，极大地提高了后续测量结果的精度和可靠性。
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