公开(公告)号：CN103700725B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201310733812.2

申请日：2013-12-27

Applicant: 渤海大学

Inventor： 王月 ,  王春杰 ,  李超 ,  张研研 ,  陆晓东 ,  张凤霞

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 一种用于太阳能电池的基于纳米粒子铜铟硫硒薄膜的制备方法，采用磁控溅射法，在衬底的一侧沉积钼金属层作为背电极，在钼金属层背电极上制备铜铟硫吸收层，将铜铟硫吸收层衬底在硒化炉中进行硒化处理，制得铜铟硫硒吸收层；在铜铟硫硒吸收层上依次制备CdS缓冲层、本征氧化锌高阻层、氧化铟锡薄膜低阻抗层，制得用于太阳能电池的铜铟硫硒薄膜。优点是：选用的原料安全环保，操作方法简便，不引入其它杂质，太阳能电池转换效率高；并且对设备要求低，能源消耗小，对环境友好，适合工业化生产。

公开(公告)号：CN103700725A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201310733812.2

申请日：2013-12-27

Applicant: 渤海大学

Inventor： 王月 ,  王春杰 ,  李超 ,  张研研 ,  陆晓东 ,  张凤霞

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/0749 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/18

Abstract: 一种用于太阳能电池的基于纳米粒子铜铟硫硒薄膜的制备方法，采用磁控溅射法，在衬底的一侧沉积钼金属层作为背电极，在钼金属层背电极上制备铜铟硫吸收层，将铜铟硫吸收层衬底在硒化炉中进行硒化处理，制得铜铟硫硒吸收层；在铜铟硫硒吸收层上依次制备CdS缓冲层、本征氧化锌高阻层、氧化铟锡薄膜低阻抗层，制得用于太阳能电池的铜铟硫硒薄膜。优点是：选用的原料安全环保，操作方法简便，不引入其它杂质，太阳能电池转换效率高；并且对设备要求低，能源消耗小，对环境友好，适合工业化生产。