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公开(公告)号:CN102141437A
公开(公告)日:2011-08-03
申请号:CN201010104984.X
申请日:2010-02-03
Applicant: 清华大学 , 北京普析通用仪器有限责任公司
Abstract: 拆除对紫外几乎无响应探测器表面的保护玻璃,将荧光粉,如晕苯(Coronene),路马近(lumogen)等通过一定手段直接沉积至敏感元件表面,形成荧光薄膜,再安装石英片至探测器表面。当紫外线照射至荧光薄膜表面时,荧光物质会受激跃迁并在极短时间内发出可见波长的光波,并直接被敏感元件接收,使得探测器能够间接检测到紫外线,安装在光谱仪中,再经过波长标定和响应度标定,便可得到精确光谱谱线。这样,普通廉价的探测器就能够实现某些高端探测器才拥有的对紫外线的精确探测功能,效果好、成本低。
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公开(公告)号:CN101046445A
公开(公告)日:2007-10-03
申请号:CN200710098527.2
申请日:2007-04-20
Applicant: 清华大学
Abstract: 线状光束扫描表面等离子体共振成像光强检测方法及系统,属于生物检测技术领域。本发明在入射光路中加入由振摆驱动器驱动的振镜,使传感表面的入射角随振镜的来回摆动而不断改变,即作线状光束扫描。蛋白质芯片表面的生物分子相互作用不断进行,由所述振镜反射的光射入传感表面的入射角不断改变,从而每时每刻都能激发蛋白质芯片上的表面等离子体共振,即可即时在光电探测器上得到相应的光强变化信号。一旦振镜摆动的频率固定,只需记录在光电探测器上得到的光强随时间变化的信号,即可实现检测。该方法不需要测量任何机械运动的角度变化,也不存在机械误差影响,整个系统结构简单、可靠,灵敏度和精度高,且能实现单通道或多通道的检测。
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公开(公告)号:CN102235968A
公开(公告)日:2011-11-09
申请号:CN201010159323.7
申请日:2010-04-27
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及到一种氢气传感头及其外差干涉系统和方法。根据本发明的一种氢气传感头包括:导入光纤(1);自聚焦透镜(2),其与所述导入光纤(1)相连;平面镜(3),它与所述自聚焦透镜(2)的出射端面大体相互平行;钯片(4),它与所述平面镜(3)相连。相对的自聚焦透镜端面与平面镜相互平行并在期间构成一个干涉腔体。该外差干涉系统通过向氢气传感头的导入光纤传输被调频的激光,并接收自聚焦透镜和平面镜两相对端面反射产生的干涉光,通过检测拍频信号的信号变化来确定干涉腔长变化,进而计算氢气浓度。本发明克服了现有技术中使用寿命短的问题,测量结果精度高,且成本低廉。
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公开(公告)号:CN1170119C
公开(公告)日:2004-10-06
申请号:CN02123642.9
申请日:2002-07-05
Applicant: 清华大学
Abstract: 基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法及装置,属于光电检测技术领域。本发明利用相位差180°的两列方波,分别调制光路中的两个半导体激光器或者分别调制光路中两个偏振方向正交的液晶光阀,产生两束分时交替的正交偏振光,使发射端输出交替工作的正交双偏振平行光;经过检偏器后产生光强差值,通过检测该差值得到滚转角的值。本发明与现有技术相比,光路结构简单,无较多复杂反馈电路,在保证测量精度的前提下,有效降低了生产成本;同时实现了x-y准直度的测量控制,节省了测量的时间,实现了并行实时测量,为进一步提高测量精度提供了条件。可广泛用于大型工件安装时的滚转角和准直度测量以及运动物的直线度和滚转角的自动跟踪系统。
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公开(公告)号:CN1396435A
公开(公告)日:2003-02-12
申请号:CN02123642.9
申请日:2002-07-05
Applicant: 清华大学
Abstract: 基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法及装置,属于光电检测技术领域。本发明利用相位差180°的两列方波,分别调制光路中的两个半导体激光器或者分别调制光路中两个偏振方向正交的液晶光阀,产生两束分时交替的正交偏振光,使发射端输出交替工作的正交双偏振平行光;经过检偏器后产生光强差值,通过检测该差值得到滚转角的值。本发明与现有技术相比,光路结构简单,无较多复杂反馈电路,在保证测量精度的前提下,有效降低了生产成本;同时实现了x-y准直度的测量控制,节省了测量的时间,实现了并行实时测量,为进一步提高测量精度提供了条件。可广泛用于大型工件安装时的滚转角和准直度测量以及运动物的直线度和滚转角的自动跟踪系统。
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公开(公告)号:CN1245284A
公开(公告)日:2000-02-23
申请号:CN99111592.9
申请日:1999-08-20
Applicant: 清华大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明属于机械精密测量的领域,包括激光器、激光电源、高双折射保偏光纤和光纤定向耦合器、光电探测器及信号检测系统,还包括设置在激光器输出端的起偏器、由设置在光纤端的自聚焦透镜、四分之一波片构成的测头,设置在光电探测器前的检偏装置。本发明可以对物体位移和振动进行高精度的测量。增强抗外界干扰能力和减少光路中杂散光的影响,具有灵敏度高,非接触式测量,抗电磁干扰,整个测量仪器结构紧凑等诸多优点。
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公开(公告)号:CN103617611B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201310561209.0
申请日:2013-11-12
Applicant: 清华大学
IPC: G06T7/00
Abstract: 本发明涉及一种自动阈值分割光斑中心及尺寸检测方法,其包括以下步骤:图像读取模块读取标示光斑图像,并将其发送到显示模块和滤波预处理模块,其中,显示模块实时显示标示光斑图像;滤波预处理模块对标示光斑图像进行滤波处理;自动阈值分割模块对滤波后的标示光斑图像采用自动阈值分割算法进行处理;光斑参数提取模块对二值化后提取的标示光斑的斑点进行筛选和几何形状补偿,得到理想的有效光斑,并通过计算有效光斑面积进而得到有效光斑的尺寸和中心坐标,同时将计算得到的有效光斑的尺寸和中心坐标发送到所述显示模块实时显示;根据计算得到的有效光斑的尺寸和中心坐标反馈调节自动阈值分割模块中的目标窗口大小的选择,以保证目标窗口可以跟随有效光斑移动。
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公开(公告)号:CN103674839B
公开(公告)日:2016-01-06
申请号:CN201310561722.X
申请日:2013-11-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种基于光斑检测的可视化样品定位操作系统及方法,它包括可见光激光光源、准直扩束单元、光束聚焦单元、电控移动样品台、CCD图像采集单元和计算机,电控移动样品台上装载有一待测样品;可见光激光光源出射的可见激光依次经准直扩束单元和光束聚焦单元后形成锥形标示光路,标示光路发射到待测样品上形成标示光斑,CCD图像采集单元采集标示光斑并将其发送到计算机,计算机对接收的标示光斑图像进行处理得到标示光斑参数信息,通过标示光斑信息判断标示光斑的离焦状态进而搜索得到对焦位置,并根据搜索得到的对焦位置控制电控移动样品台对待测样品位置进行调节,实现待测样品的自动对焦。本发明可以广泛应用于样品自动定位操作中。
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公开(公告)号:CN103697860A
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN201310685230.1
申请日:2013-12-13
Applicant: 清华大学
IPC: G01C9/00
CPC classification number: G01C9/00
Abstract: 一种对贴差分式高分辨率倾角传感仪,包括分别置于电路板正反面的正贴倾角敏感元件和反贴倾角敏感元件,与两者依次连接的信号差分放大模块、数据采集模块,与数据采集模块连接的液晶显示模块和蓝牙数据传输模块;利用信号差分放大模块先分别对两个倾角传感器敏感元件输出的模拟电压进行放大,作差后的模拟电压信号经由数据采集模块A/D转换后换算成倾角值,通过液晶显示模块和蓝牙数据传输模块分别显示和输出;一方面,信号差分放大模块有效的提高了单个倾角传感器敏感元件的分辨率;另一方面,两个对贴式放置的倾角敏感元件敏感方面相反,输出倾角值也相反,将两个倾角值作差后,分辨率再次提高了一倍;同时两个倾角敏感元件的温度漂移方向一致,作差后可以非常有效的抑制温度漂移,提高了长期稳定性以及测量精度。
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公开(公告)号:CN102142654A
公开(公告)日:2011-08-03
申请号:CN201110006419.4
申请日:2011-01-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种单/双频输出激光头及激光输出方法,其特征在于:它包括一外壳,所述外壳内设置有一双频激光器和一精密平移台,所述精密平移台上固定连接一半波片和一偏振分光棱镜;所述双频激光器作为激光头的光源,与所述光源的出光端相对,在所述外壳上设置第一出光孔,与所述偏振分光棱镜的中心相对,且与所述第一出光孔垂直,在所述外壳上设置第二出光孔。本发明充分利用双频激光器的现有制造工艺,既能用于需要双频激光光源的场合,又能满足单频激光光源应用需求,具有结构简单、性能稳定和使用方便等优点,能广泛地应用在激光干涉技术中。
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