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公开(公告)号：CN111988902A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010815958.1
申请日：2020-08-14
Applicant: 清华大学
IPC: H05H1/24
Abstract: 一种可弯曲的气囊式等离子体发生器，属于大气压低温等离子体技术领域，其特征在于，由点阵式金属放电电极和介质阻挡层结合而成的平板型混合放电电极、以弹性气囊筒为主构成的等离子体容纳结构和等离子体出口处加装的专用镂空掩膜层共同组成。其中：所述平板型混合放电电极既有良好的弯曲性又降低电源的功率需求；由气囊筒构成的柔性容纳结构保证了等离子体与待处理表面距离可调的需求；镂空式掩膜结构满足了不同用户对输出等离子体作用位置、面积和轮廓形状的不同需求。本发明是一种轻便型、中小功率等离子体发生器，对一般的被处理物体的表面具有普遍适用性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111556641B
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202010504638.4
申请日：2020-06-05
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种低温范围的裸露电极型大气压等离子体发生器系统属于大气压射频等离子体技术领域，其特征在于包括电源、气源、发生器、等离子体气体温度调节器，输出等离子体调节接头以及处理器，其中，发生器具有同轴型电极，内电极纵剖面呈“U”字形，冷却气体进入凹槽后通过沿径向开在内电极内的多层冷却通道后进入等离子体空间，以补充等离子体输出流量，所述调节接头用于调节输出等离子体纵向高度及输出角度，处理器把输出等离子体分为[‑200℃,0℃]，(0℃,50℃]两档分档处理，对输出等离子体气体温度和流量两个参量按优先级控制，据此确定非最优参量的修正期望值。本发明具有发生器结构简单、输出等离子体可调节及调节对象针对性、选择性强的优点。
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公开(公告)号：CN111918472A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010816098.3
申请日：2020-08-14
Applicant: 清华大学
Abstract: 以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器属于介质阻挡放电等离子体发生器领域，其特征在于，以铝合金弹力弹簧和流体封闭在一起构成的流体型介质阻挡放电电极代替了由不易弯曲的金属放电电极和固体介质阻挡材料组成的固体型介质阻挡放电电极，所述流体是指处理材料表面时所需活性离子的溶液或其喷雾流，以解决等离子体均匀性不足甚至产生丝状放电的问题；经化学腐蚀工艺得到的镂空掩膜层贴附于被处理物体表面，其中的镂空图案与待处理表面位置区域、面积、形状相一致，以解决等离子体束处理不同需求的物体表面时无法调整等离子体束作用参数的问题，从而实现了应用的普适性和特殊性。
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公开(公告)号：CN111918472B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202010816098.3
申请日：2020-08-14
Applicant: 清华大学
Abstract: 以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器属于介质阻挡放电等离子体发生器领域，其特征在于，以铝合金弹力弹簧和流体封闭在一起构成的流体型介质阻挡放电电极代替了由不易弯曲的金属放电电极和固体介质阻挡材料组成的固体型介质阻挡放电电极，所述流体是指处理材料表面时所需活性离子的溶液或其喷雾流，以解决等离子体均匀性不足甚至产生丝状放电的问题；经化学腐蚀工艺得到的镂空掩膜层贴附于被处理物体表面，其中的镂空图案与待处理表面位置区域、面积、形状相一致，以解决等离子体束处理不同需求的物体表面时无法调整等离子体束作用参数的问题，从而实现了应用的普适性和特殊性。
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公开(公告)号：CN111556641A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010504638.4
申请日：2020-06-05
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种低温范围的裸露电极型大气压等离子体发生器系统属于大气压射频等离子体技术领域，其特征在于包括电源、气源、发生器、等离子体气体温度调节器，输出等离子体调节接头以及处理器，其中，发生器具有同轴型电极，内电极纵剖面呈“U”字形，冷却气体进入凹槽后通过沿径向开在内电极内的多层冷却通道后进入等离子体空间，以补充等离子体输出流量，所述调节接头用于调节输出等离子体纵向高度及输出角度，处理器把输出等离子体分为[-200℃,0℃]，(0℃,50℃]两档分档处理，对输出等离子体气体温度和流量两个参量按优先级控制，据此确定非最优参量的修正期望值。本发明具有发生器结构简单、输出等离子体可调节及调节对象针对性、选择性强的优点。
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公开(公告)号：CN111988902B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202010815958.1
申请日：2020-08-14
Applicant: 清华大学
IPC: H05H1/24
Abstract: 一种可弯曲的气囊式等离子体发生器，属于大气压低温等离子体技术领域，其特征在于，由点阵式金属放电电极和介质阻挡层结合而成的平板型混合放电电极、以弹性气囊筒为主构成的等离子体容纳结构和等离子体出口处加装的专用镂空掩膜层共同组成。其中：所述平板型混合放电电极既有良好的弯曲性又降低电源的功率需求；由气囊筒构成的柔性容纳结构保证了等离子体与待处理表面距离可调的需求；镂空式掩膜结构满足了不同用户对输出等离子体作用位置、面积和轮廓形状的不同需求。本发明是一种轻便型、中小功率等离子体发生器，对一般的被处理物体的表面具有普遍适用性。
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