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公开(公告)号：CN116858382A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310857757.1
申请日：2023-07-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 本公开实施例提供的偏振光谱的测量方法、系统及其应用，所述测量方法包括：将均匀的待测光源入射至光学超表面阵列，获取透过光学超表面阵列的光的强度，光学超表面阵列由若干超表面单元组成，不同的超表面单元的光谱透过率响应具有偏振各向异性和多样性；根据透过光学超表面阵列的光的强度和光学超表面阵列在不同偏振态下的光谱透过率响应重构待测光源的偏振光谱信息，以此作为测量结果。所述测量系统包括：光学超表面阵列；探测器；重构模块。所述应用为对薄膜厚度和折射率的测量。本公开利用具有偏振和光谱响应的光学超表面，可在厘米量级的系统结构尺寸上实现偏振光谱的快速、稳定测量，进一步地，可实现对薄膜属性的快速、稳定测量。
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