公开(公告)号：CN105568227A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201610038773.8

申请日：2016-01-20

Applicant: 清华大学

Inventor： 张政军 ,  乐雅 ,  谢谦 ,  马菱薇

IPC: C23C14/30 ,  C23C14/08

CPC classification number: C23C14/30 ,  C23C14/083

Abstract: 一种同质双层氧化铪减反膜及其制备方法，属于光学薄膜技术领域。本发明在透明或半透明基底上依次沉积高折射率的致密氧化铪层和低折射率的多孔氧化铪层。两层氧化铪的折射率由电子束蒸镀的入射角度控制，厚度根据基底不同而调节。本发明采用电子束蒸镀方法，并且双层减反膜由同种材料制成，制备成本低、效率高。该双层氧化铪减反膜对于可见光范围内的多角度入射光均具有很好的减反增透能力，可用于降低窗板、触屏电极或液晶显示屏等表面的反射，具有广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN105568227B

公开(公告)日：2018-02-09

申请号：CN201610038773.8

申请日：2016-01-20

Applicant: 清华大学

Inventor： 张政军 ,  乐雅 ,  谢谦 ,  马菱薇

IPC: C23C14/30 ,  C23C14/08

Abstract: 一种同质双层氧化铪减反膜及其制备方法，属于光学薄膜技术领域。本发明在透明或半透明基底上依次沉积高折射率的致密氧化铪层和低折射率的多孔氧化铪层。两层氧化铪的折射率由电子束蒸镀的入射角度控制，厚度根据基底不同而调节。本发明采用电子束蒸镀方法，并且双层减反膜由同种材料制成，制备成本低、效率高。该双层氧化铪减反膜对于可见光范围内的多角度入射光均具有很好的减反增透能力，可用于降低窗板、触屏电极或液晶显示屏等表面的反射，具有广泛的应用前景。