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公开(公告)号：CN110071044A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201810064615.9
申请日：2018-01-23
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/336
Abstract: 本发明涉及一种场效应管制备方法和场效应管，该方法包括：将碳化硅衬底加热至预设温度；所述预设温度用于使所述碳化硅衬底上的硅原子升华，并使得所述碳化硅衬底上的碳原子在所述硅原子升华后进行重构，以在所述碳化硅衬底的表面形成一层石墨烯薄膜；在所述石墨烯薄膜上沉积源极、漏极和栅极。上述方法所制作的场效应管可以获得高质量石墨烯、提高载流子迁移率，降低噪声，实现太赫兹频段传输。
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公开(公告)号：CN109142890A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810965187.7
申请日：2018-08-23
Applicant: 清华大学
IPC: G01R29/10
Abstract: 本申请提供一种太赫兹漏波天线测量系统，在沟槽内放置探针天线，并在沟槽内移动探针天线，可以采集移动过程中的探针天线所处位置的振幅与相位分布信息，实现了馈源天线与辐射腔体的分离。根据互易定理外推，实现了天线远场测试。太赫兹漏波天线测量系统相比于直接改变所述发射装置中馈源天线的位置，大幅减少了对原本天线结构的破坏程度，提高了测试精度。同时简单易行，可以给馈源安装、调整提供综合的参考。在完成太赫兹漏波天线测量系统一体化测试的同时，通过探针天线的移动寻找远场增益最大处，以确定实际相位中心位置，有效解决了二维漏波天线中馈源实际相位中心修正问题。
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公开(公告)号：CN109142890B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201810965187.7
申请日：2018-08-23
Applicant: 清华大学
IPC: G01R29/10
Abstract: 本申请提供一种太赫兹漏波天线测量系统，在沟槽内放置探针天线，并在沟槽内移动探针天线，可以采集移动过程中的探针天线所处位置的振幅与相位分布信息，实现了馈源天线与辐射腔体的分离。根据互易定理外推，实现了天线远场测试。太赫兹漏波天线测量系统相比于直接改变所述发射装置中馈源天线的位置，大幅减少了对原本天线结构的破坏程度，提高了测试精度。同时简单易行，可以给馈源安装、调整提供综合的参考。在完成太赫兹漏波天线测量系统一体化测试的同时，通过探针天线的移动寻找远场增益最大处，以确定实际相位中心位置，有效解决了二维漏波天线中馈源实际相位中心修正问题。
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公开(公告)号：CN109031523B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201810960490.8
申请日：2018-08-22
Applicant: 清华大学
Abstract: 本申请提供一种太赫兹悬置空芯脊型介质波导的制作方法及其结构，所述太赫兹悬置空芯脊型介质波导的制作方法采用所述第一高阻硅以及所述第二高阻硅作为传输材料，可以使得在0.1THz～1THz频段范围内吸收系数小于0.01每厘米，具有很低的介质损耗。并且，所述第一高阻硅以及所述第二高阻硅作为传输材料具有极高的介电常数，可以使得电磁波集中在波导高阻硅内部进行传输减少电磁波向周围空气层的辐射，从而减少辐射损耗。同时，由于电磁波集中于所述空气芯腔内，使得更多的电磁波集中在无损的空气中进行传输，进一步减少了介质损耗。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN108511896B
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201810201229.X
申请日：2018-03-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种太赫兹发射天线，包括：微带馈线、衬底、至少两个天线开关、至少一个导电板、绝缘层和至少两个天线贴片。所述太赫兹发射天线设置至少两个所述天线开关和对应的至少两个天线贴片，充分的增加了所述太赫兹发射天线的发射带宽和提高了相应的发射功率。发射频带宽和发射功率高的所述太赫兹发射天线能够应用于小型太赫兹光谱探测装置中，协助发射源将太赫兹频段的信号发射出去。所述太赫兹发射天线通过多频发射天线阵列将多个不同发射频带的太赫兹源拼接起来，实现宽频带的光谱探测。所述太赫兹发射天线采用多频发射切换技术，可以减少指纹谱识别算法的运算时间实现对特定目标物质的快速识别。
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公开(公告)号：CN109860999A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201811505213.4
申请日：2018-12-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种波导激励太赫兹微带天线。所述波导激励太赫兹微带天线包括：介质基板，所述介质基板包括相对的第一表面及第二表面；接地板，设置于所述介质基板的第一表面，且所述接地板中形成有耦合狭缝；矩形激励波导，设置于所述接地板远离所述介质基板的表面，且沿第一方向延伸；金属钉柱，设置于所述矩形激励波导中且与所述接地板接触，且所述金属钉柱与所述接地板垂直设置；辐射贴片，设置于所述介质基板的第二表面。波导激励太赫兹微带天线的回波损耗小、可接受工作带宽更广、增益高，能克服传统微带天线在太赫兹波段损耗大、带宽窄、增益低的缺点。
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公开(公告)号：CN109031523A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810960490.8
申请日：2018-08-22
Applicant: 清华大学
Abstract: 本申请提供一种太赫兹悬置空芯脊型介质波导的制作方法及其结构，所述太赫兹悬置空芯脊型介质波导的制作方法采用所述第一高阻硅以及所述第二高阻硅作为传输材料，可以使得在0.1THz～1THz频段范围内吸收系数小于0.01每厘米，具有很低的介质损耗。并且，所述第一高阻硅以及所述第二高阻硅作为传输材料具有极高的介电常数，可以使得电磁波集中在波导高阻硅内部进行传输减少电磁波向周围空气层的辐射，从而减少辐射损耗。同时，由于电磁波集中于所述空气芯腔内，使得更多的电磁波集中在无损的空气中进行传输，进一步减少了介质损耗。
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公开(公告)号：CN108511896A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810201229.X
申请日：2018-03-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种太赫兹发射天线，包括：微带馈线、衬底、至少两个天线开关、至少一个导电板、绝缘层和至少两个天线贴片。所述太赫兹发射天线设置至少两个所述天线开关和对应的至少两个天线贴片，充分的增加了所述太赫兹发射天线的发射带宽和提高了相应的发射功率。发射频带宽和发射功率高的所述太赫兹发射天线能够应用于小型太赫兹光谱探测装置中，协助发射源将太赫兹频段的信号发射出去。所述太赫兹发射天线通过多频发射天线阵列将多个不同发射频带的太赫兹源拼接起来，实现宽频带的光谱探测。所述太赫兹发射天线采用多频发射切换技术，可以减少指纹谱识别算法的运算时间实现对特定目标物质的快速识别。
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