一种通过表面结晶改善二氧化硅光学特性的方法

    公开(公告)号:CN107138372B

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201710260877.8

    申请日:2017-04-20

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 一种通过表面结晶改善二氧化硅光学特性的方法,包含以下步骤:(1)将化学改性后的纳米二氧化硅溶胶颗粒均匀涂于硅片上;(2)将步骤(1)中涂有二氧化硅的硅片在炉子中进行高压惰性气体热处理,热处理温度为100‑1800℃,气体压力为0.1‑6MPa,热处理时间为1‑10h,得到颗粒表面部分结晶的均匀二氧化硅膜层。经过高压惰性气氛快速升降温热处理的二氧化硅膜层,光学特性有所改善,折射率提高且连续可调,可作为太阳能电池梯度折射率减反层的理想材料。该膜层的制备工艺简单,原料成本低,有利于实现大规模工业化生产。

    一种通过表面结晶改善二氧化硅光学特性的方法

    公开(公告)号:CN107138372A

    公开(公告)日:2017-09-08

    申请号:CN201710260877.8

    申请日:2017-04-20

    Applicant: 清华大学

    CPC classification number: B05D5/063 B05D3/0473 B05D2203/30 H01L31/02168

    Abstract: 一种通过表面结晶改善二氧化硅光学特性的方法,包含以下步骤:(1)将化学改性后的纳米二氧化硅溶胶颗粒均匀涂于硅片上;(2)将步骤(1)中涂有二氧化硅的硅片在炉子中进行高压惰性气体热处理,热处理温度为100‑1800℃,气体压力为0.1‑6MPa,热处理时间为1‑10h,得到颗粒表面部分结晶的均匀二氧化硅膜层。经过高压惰性气氛快速升降温热处理的二氧化硅膜层,光学特性有所改善,折射率提高且连续可调,可作为太阳能电池梯度折射率减反层的理想材料。该膜层的制备工艺简单,原料成本低,有利于实现大规模工业化生产。

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