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公开(公告)号：CN102374911B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201010260892.0
申请日：2010-08-23
Applicant: 清华大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 一种阵列式柔性力敏传感器包括：上绝缘保护层及图形化于上绝缘保护层下表面的平行金属行电极；下绝缘保护层及图形化于下绝缘保护层上表面的平行金属列电极；和位于行电极和列电极间的第一敏感膜层；第一敏感膜层由填充式敏感材料层和附着在该填充式敏感材料层上表面的填充式敏感材料凸形条或凸形块组成；凸形条和凸形块的纵截面均为楔形、锥形或锯齿形；凸形条或凸形块与列电极上下对齐；行电极与列电极呈空间垂直相交状分布，其空间垂直相交的空间相交部分与该空间相交部分内包含的第一敏感膜层构成力敏单元；填充式敏感材料为绝缘柔性基体材料中均匀分散导电粒子的导电复合材料；具有灵敏度高，性能稳定，寿命长等优点。
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公开(公告)号：CN102374910B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201010260505.3
申请日：2010-08-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及的碳纳米管/聚合物复合膜阵列式柔性力敏传感器及制法，其包括：分别图形化于碳纳米管/聚合物复合膜上、下表面的平行金属行电极和平行金属列电极；行电极上附着上绝缘保护层；列电极上附着下绝缘保护层；行电极与平行列电极呈空间相交状分布，其空间相交部分与该相交部分内包含的碳纳米管/聚合物膜构成阵列式柔性力敏传感器的力敏单元；碳纳米管/聚合物复合薄膜为聚合物基体材料中均匀分散有碳纳米管的复合材料制成的膜；所述碳纳米管与所述聚合物基体材料的质量比为(0.1-15)∶100；该阵列式柔性力敏传感器中的碳纳米管/聚合物复合膜具有柔韧性优良、重复性好，性能稳定，一致性好等特点。
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公开(公告)号：CN102374910A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201010260505.3
申请日：2010-08-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及的碳纳米管/聚合物复合膜阵列式柔性力敏传感器及制法，其包括：分别图形化于碳纳米管/聚合物复合膜上、下表面的平行金属行电极和平行金属列电极；行电极上附着上绝缘保护层；列电极上附着下绝缘保护层；行电极与平行列电极呈空间相交状分布，其空间相交部分与该相交部分内包含的碳纳米管/聚合物膜构成阵列式柔性力敏传感器的力敏单元；碳纳米管/聚合物复合薄膜为聚合物基体材料中均匀分散有碳纳米管的复合材料制成的膜；所述碳纳米管与所述聚合物基体材料的质量比为(0.1-15)∶100；该阵列式柔性力敏传感器中的碳纳米管/聚合物复合膜具有柔韧性优良、重复性好，性能稳定，一致性好等特点。
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公开(公告)号：CN102374911A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201010260892.0
申请日：2010-08-23
Applicant: 清华大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 一种阵列式柔性力敏传感器包括：上绝缘保护层及图形化于上绝缘保护层下表面的平行金属行电极；下绝缘保护层及图形化于下绝缘保护层上表面的平行金属列电极；和位于行电极和列电极间的第一敏感膜层；第一敏感膜层由填充式敏感材料层和附着在该填充式敏感材料层上表面的填充式敏感材料凸形条或凸形块组成；凸形条和凸形块的纵截面均为楔形、锥形或锯齿形；凸形条或凸形块与列电极上下对齐；行电极与列电极呈空间垂直相交状分布，其空间垂直相交的空间相交部分与该空间相交部分内包含的第一敏感膜层构成力敏单元；填充式敏感材料为绝缘柔性基体材料中均匀分散导电粒子的导电复合材料；具有灵敏度高，性能稳定，寿命长等优点。
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