公开(公告)号：CN118837382A

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202411144557.2

申请日：2024-08-20

Applicant: 清华大学

Inventor： 吴锦鹏 ,  曾嵘 ,  刘小元 ,  任春频 ,  刘佳鹏 ,  邢庆子 ,  毕崇博 ,  李文亮 ,  汪星辰 ,  范永山 ,  杜畅通 ,  胡闯

IPC: G01N23/00

Abstract: 本发明属于辐照加工技术领域，公开一种用于非线性磁铁法与扩束法辐照加工的旋转式样品台，其中，旋转样品台包括样品台本体、动力部件和固定装置；动力部件用于驱动样品台本体旋转，动力部件与固定装置固定连接；样品台本体包括旋转样品盘和芯片压板，旋转样品盘的一侧与芯片压板可拆卸连接。本发明的动力部件驱动旋转样品盘上的样品旋转，使辐照在以样品中心为圆点的同心圆环内均匀分布，使得大尺寸样品表面的辐照剂量均匀性得到进一步的调控，可以满足多种尺寸样品的均匀性要求。