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公开(公告)号：CN100346916C
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200510073177.5
申请日：2005-06-01
Applicant: 清华大学
IPC: B23H5/04
Abstract: 本发明公开了属于微细机械加工技术领域的涉及将微细冲压和微细电火花加工技术交叉融合在一起的对金属合金材料加工的一种微细喷射型孔的复合加工工艺。通过不同尖端形状的冲头的组合，顺序塑性变形加工出带有微细倒锥的底型腔。然后在其背面对应于底型腔倒锥的位置，采用微细电火花工艺减薄材料，露出倒锥锥顶，形成微细型孔。该工艺将微细型孔的尺寸误差敏感方向由横向转化为竖向并减小误差敏感度。本发明的微细喷射型孔采用复合加工工艺，取长补短，发挥了微塑性变形加工和微细电火花加工交叉结合的优势，为微细喷射型孔及其阵列的加工提供尺寸一致性好、具有批量生产能力的工艺途径。
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公开(公告)号：CN100371119C
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200510073178.X
申请日：2005-06-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了属于微细加工领域的以微小间隙电解蚀除加工为核心，将光刻和电铸工艺、精密电火花线切割加工技术融合的金属合金材料的阵列微细型孔的电化学加工工艺。采用线切割或光刻电铸工艺制作阵列微细电极，对金属合金材料进行电解蚀除加工。如需加工较小深宽比的阵列微细型孔，所述阵列微细电极之间有绝缘胶填充并将端面磨平；如需加工较大深宽比的阵列微细型孔，所述阵列微细电极之间没有绝缘胶填充，但电极侧壁上覆有绝缘薄膜。绝缘处理减小了电解加工中杂散电场的不利影响。本发明利用阵列微细电极的电化学加工工艺，辅之以脉冲电源技术、微小间隙检测和控制技术，为阵列微细型孔提供一尺寸一致性好、具有批量生产特点的制作方法。
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公开(公告)号：CN1686652A
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：CN200510073177.5
申请日：2005-06-01
Applicant: 清华大学
IPC: B23H5/04
Abstract: 本发明公开了属于微细机械加工技术领域的涉及将微细冲压和微细电火花加工技术交叉融合在一起的对金属合金材料加工的一种微细喷射型孔的复合加工工艺。通过不同尖端形状的冲头的组合，顺序塑性变形加工出带有微细倒锥的底型腔。然后在其背面对应于底型腔倒锥的位置，采用微细电火花工艺减薄材料，露出倒锥锥顶，形成微细型孔。该工艺将微细型孔的尺寸误差敏感方向由横向转化为竖向并减小误差敏感度。本发明的微细喷射型孔采用复合加工工艺，取长补短，发挥了微塑性变形加工和微细电火花加工交叉结合的优势，为微细喷射型孔及其阵列的加工提供尺寸一致性好、具有批量生产能力的工艺途径。
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公开(公告)号：CN1699006A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN200510073178.X
申请日：2005-06-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了属于微细加工领域的以微小间隙电解蚀除加工为核心，将光刻和电铸工艺、精密电火花线切割加工技术融合的金属合金材料的阵列微细型孔的电化学加工工艺。其方法是采用线切割或光刻电铸工艺制作阵列微细电极，对金属合金材料进行电解蚀除加工。如需加工较小深宽比的阵列微细型孔，所述阵列微细电极之间有绝缘胶填充并将端面磨平；如需加工较大深宽比的阵列微细型孔，所述阵列微细电极之间没有绝缘胶填充，但电极侧壁上覆有绝缘薄膜。绝缘处理减小了电解加工中杂散电场的不利影响。本发明利用阵列微细电极的电化学加工工艺，辅之以脉冲电源技术、微小间隙检测和控制技术，为阵列微细型孔提供一尺寸一致性好、具有批量生产特点的制作方法。
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