公开(公告)号：CN1019919C

公开(公告)日：1993-02-17

申请号：CN90101053.7

申请日：1990-03-08

Applicant: 清华大学

Inventor： 陈戈林 ,  胡思正 ,  李德杰 ,  罗淑云 ,  申忠明 ,  张克潜

IPC: G01N29/06 ,  G01N29/10

CPC classification number: G10K11/30 ,  G01N29/06 ,  G01N29/0609 ,  G01N2291/044 ,  G01S15/8906

Abstract: 本发明属于声显微、机械扫描成象等技术领域，可广泛用于材料、微电子、光电子等技术领域的无损伤检测、评估与观察。本发明采用新型声镜、新型步进电机驱动电源，由通用微机构成机械扫描、高频部件控制和成象系统比平面换能器型兰宝石声镜分辨率高而价格却低数十倍；比专用微机功能强通用性好，用户使用方便，此外还具有高效、低噪声等特点。

公开(公告)号：CN1054667A

公开(公告)日：1991-09-18

申请号：CN90101053.7

申请日：1990-03-08

Applicant: 清华大学

Inventor： 陈戈林 ,  胡思正 ,  李德杰 ,  罗淑云 ,  申忠明 ,  张克潜

IPC: G01N29/06 ,  G01N29/10

CPC classification number: G10K11/30 ,  G01N29/06 ,  G01N29/0609 ,  G01N2291/044 ,  G01S15/8906

Abstract: 本发明属于声显微、机械扫描成象等技术领域，可广泛用于材料、微电子、光电子等技术领域的无损伤检测、评估与观察。本发明采用新型声镜、新型步进电机驱动电源，由通用微机构成机械扫描、高频部件控制和成象系统比平面换能器型蓝宝石声镜分辨率高而价格却低数十倍；比专用微机功能强通用性好，用户使用方便，此外还具有高效、低噪声等特点。