一种带有二氧化钛纳米棒阵列的电介质薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN107056087A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710262368.9

    申请日:2017-04-20

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及一种带有二氧化钛纳米棒阵列的电介质薄膜的制备方法,属于电介质材料技术领域。电容器的电介质材料为TiO2纳米棒阵列与PVDF‑HFP的复合物。该方法首先用水热法在FTO基片上制备出TiO2纳米棒阵列,用多巴胺盐酸盐进行表面处理后,将PVDF‑HFP和DMF的溶液旋涂于阵列表面并在真空干燥箱内烘干。将复合薄膜进行热处理及淬火后,去除部分薄膜使FTO露出,作为底电极,再在复合薄膜表面镀上铜电极,即可完成该电介质电容器的制备。本发明制备的电介质电容器击穿场强可达3.7‑5.1MV/cm,室温储能密度可达10.7‑17.5J/cm3,并具有80‑86%的超高储能效率,且合成过程低成本、易加工,是一种有希望作为嵌入式电容器、静电储能元器件等应用的器件。

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