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公开(公告)号：CN101554704A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200910083588.0
申请日：2009-05-11
Applicant: 清华大学
IPC: B23Q15/013
Abstract: 本发明公开了属于超精密加工技术领域的一种正应力电磁驱动超高频响微进给机构。微进给机构的磁路结构和机械结构均以运动轴为轴线回转对称，该微进给机构由驱动部件、运动部件和外壳体组成。环状动铁心两端的整个环面都处于工作气隙中，产生沿动铁心环面法向且与励磁电流成正比的组合驱动力并减轻动铁心质量；磁路结构的初始工作气隙、动铁心内外半径差和动铁心轴向宽度，由有限元数值计算方法优化确定；定铁心和动铁心的轴向尺寸按经济精度设计，通过调整垫片厚度保证动铁心两侧工作气隙的均衡。本发明的微进给机构具有响应速度超快、结构简单、加工容易、装配方便、制造成本低、驱动力大、惯量小、保证实现超快微量进给运动的特点。
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