公开(公告)号：CN103713203B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201310706890.3

申请日：2013-12-19

Applicant: 清华大学

Inventor： 叶天翔 ,  王喆垚

IPC: G01R29/12

Abstract: 本发明公开了一种微型电场传感器结构，包括：可动感应电极阵列和固定感应电极阵列，可动感应电极阵列可周期性往复运动，包括至少一个可动感应电极单元，可动感应电极单元包括正极性可动感应电极和负极性可动感应电极，二者通过绝缘结构连接；固定感应电极阵列包括至少一个固定感应电极单元，固定感应电极单元包括正极性固定感应电极和负极性固定感应电极。可动感应电极单元与固定感应电极单元分别外接电路实现电位钳制，当可动感应电极周期性往复运动时，产生与电场强度相关的电信号，实现电场强度测量。这种传感器结构能够避免直接接地结构的电场浪费问题，获得更大的电场感应面积，在相同检测周期内能够产生更多的感应电荷，提高测量的分辨率。

公开(公告)号：CN103713203A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310706890.3

申请日：2013-12-19

Applicant: 清华大学

Inventor： 叶天翔 ,  王喆垚

IPC: G01R29/12

Abstract: 本发明公开了一种微型电场传感器结构，包括：可动感应电极阵列和固定感应电极阵列，可动感应电极阵列可周期性往复运动，包括至少一个可动感应电极单元，可动感应电极单元包括正极性可动感应电极和负极性可动感应电极，二者通过绝缘结构连接；固定感应电极阵列包括至少一个固定感应电极单元，固定感应电极单元包括正极性固定感应电极和负极性固定感应电极。可动感应电极单元与固定感应电极单元分别外接电路实现电位钳制，当可动感应电极周期性往复运动时，产生与电场强度相关的电信号，实现电场强度测量。这种传感器结构能够避免直接接地结构的电场浪费问题，获得更大的电场感应面积，在相同检测周期内能够产生更多的感应电荷，提高测量的分辨率。