公开(公告)号：CN113955945B

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN202111222046.4

申请日：2021-10-20

Applicant: 清华大学

Inventor： 李勇 ,  刘语杰 ,  刘国栋 ,  佟浩 ,  谈齐峰

IPC: C03C15/00

Abstract: 本发明公开了一种液滴附壁化学加工的石英玻璃回转体工件的表面修饰方法，包括：将工件装夹在主轴上，主轴带动工件绕中心线旋转；在管口处产生凸出的腐蚀液滴，液滴与工件表面接触，控制液滴的半径保持稳定；根据液滴与工件表面的接触面积以及工件的加工目标表面粗糙度要求，确定工件的相对线速度下限v；由相对线速度下限v以及工件的回转半径确定主轴转速下限N；控制主轴的转速≥N，并控制液滴中心点相对运动对工件表面进行加工，且液滴中心与工件表面的距离保持不变；检测管口处的液滴的流量信号变化，若超过阈值，视为完成对工件的表面修饰。采用该方法可得无微裂纹、无变质层、表面光滑的石英玻璃回转体工件，且操作简便，可控性好。

公开(公告)号：CN113955945A

公开(公告)日：2022-01-21

申请号：CN202111222046.4

申请日：2021-10-20

Applicant: 清华大学

Inventor： 李勇 ,  刘语杰 ,  刘国栋 ,  佟浩 ,  谈齐峰

IPC: C03C15/00

Abstract: 本发明公开了一种液滴附壁化学加工的石英玻璃回转体工件的表面修饰方法，包括：将工件装夹在主轴上，主轴带动工件绕中心线旋转；在管口处产生凸出的腐蚀液滴，液滴与工件表面接触，控制液滴的半径保持稳定；根据液滴与工件表面的接触面积以及工件的加工目标表面粗糙度要求，确定工件的相对线速度下限v；由相对线速度下限v以及工件的回转半径确定主轴转速下限N；控制主轴的转速≥N，并控制液滴中心点相对运动对工件表面进行加工，且液滴中心与工件表面的距离保持不变；检测管口处的液滴的流量信号变化，若超过阈值，视为完成对工件的表面修饰。采用该方法可得无微裂纹、无变质层、表面光滑的石英玻璃回转体工件，且操作简便，可控性好。

公开(公告)号：CN116423377A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202310211899.0

申请日：2023-02-27

Applicant: 清华大学

Inventor： 佟浩 ,  陈佳龙 ,  李勇 ,  刘语杰

IPC: B24B37/00 ,  B24B37/025 ,  B24B37/34 ,  B24B47/22 ,  B24B41/04 ,  B24B57/02 ,  B24B47/12

Abstract: 本发明公开了半球谐振子电化学放电复合机械磨削加工系统和方法，系统包括：导电球头砂轮控制系统，用于控制导电球头砂轮的位置调整；半球谐振子控制系统，用于控制待加工的半球谐振子的位置调整；脉冲电源系统，包括脉冲电源，其负极连接在导电球头砂轮上，其正极连接有辅助阳极，辅助阳极与导电磨削液相接触；导电磨削液供给系统，包括喷头，喷头用于将导电磨削液喷淋至半球谐振子的待加工表面。本发明将电化学放电加工与机械磨削加工相结合，通过在磨削过程中引入放电能、化学能，实现待加工半球谐振子的表面改性，从而在塑性域磨削模式下切除工件材料，减少甚至消除磨削加工后工件表面的裂纹、崩碎等损伤缺陷，改善半球谐振子的加工质量。