公开(公告)号：CN101391328B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200810225440.1

申请日：2008-10-31

Applicant: 清华大学

Inventor： 李勇 ,  刘改红 ,  陈旭鹏

IPC: B23H3/04 ,  B23H3/06 ,  C08J3/24 ,  C08L63/00

Abstract: 一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，涉及在微细电化学加工用电极的侧壁表面形成绝缘膜的方法，属于微细加工技术领域。该方法的操作步骤为：1)清洗电极；2)旋涂法在电极表面涂敷液态绝缘材料；3)利用局部溶解的方法去除电极端面的液态绝缘材料，使端面导电；4)固化液态绝缘材料；5)重复步骤2)、步骤3)、步骤4)数次，在电极的侧壁表面形成一定厚度的绝缘膜，以满足侧壁绝缘要求。绝缘材料可采用环氧树脂液。本发明不仅适用于微细电化学加工用单电极，而且适用于微细电化学加工用阵列电极，同时也为电生理学实验用电极提供了一种新的侧壁绝缘方法。

公开(公告)号：CN101391328A

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：CN200810225440.1

申请日：2008-10-31

Applicant: 清华大学

Inventor： 李勇 ,  刘改红 ,  陈旭鹏

IPC: B23H3/04 ,  B23H3/06 ,  C08J3/24 ,  C08L63/00

Abstract: 一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，涉及在微细电化学加工用电极的侧壁表面形成绝缘膜的方法，属于微细加工技术领域。该方法的操作步骤为：1)清洗电极；2)旋涂法在电极表面涂敷液态绝缘材料；3)利用局部溶解的方法去除电极端面的液态绝缘材料，使端面导电；4)固化液态绝缘材料；5)重复步骤2)、步骤3)、步骤4)数次，在电极的侧壁表面形成一定厚度的绝缘膜，以满足侧壁绝缘要求。绝缘材料可采用环氧树脂液。本发明不仅适用于微细电化学加工用单电极，而且适用于微细电化学加工用阵列电极，同时也为电生理学实验用电极提供了一种新的侧壁绝缘方法。