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公开(公告)号：CN116546726A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310442754.1
申请日：2023-04-18
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供了一种定位台，通过夹持机构将待定位电路板推动至机械手臂进行拾取的位置，机械手臂不需要再根据电路板的位置进行微调，减少通过机械手臂进行转移耗费的时间。并且，对于不同类型的电路板，只需要调节夹持机构的推动距离，即可将不同的电路板推动至拾取位置，能够应用于多种电路板，无需针对每种电路板进行适应设计，减少耗费成本。
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公开(公告)号：CN116825711A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310730185.0
申请日：2023-06-19
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
IPC: H01L21/687 , H01L21/677
Abstract: 本申请提供一种半导体晶圆翻转装置及系统，装置包括主体；旋转夹持机构，与主体滑动连接，能够沿第一方向往复移动；旋转夹持机构包括能够绕第一轴线旋转的翻转块，第一轴线沿与第一方向相互垂直的第二方向延伸；翻转块沿第二方向的一端安装有夹爪，夹爪包括对称设置的两个夹臂，两个夹臂能够相向移动以靠近半导体晶圆的边缘，或能够相背移动以远离半导体晶圆的边缘。本申请提供的半导体晶圆翻转装置及系统，通过夹爪中对称设置的两个夹臂能够对半导体晶圆的边缘进行夹持，以在半导体晶圆被夹持时，减小第一侧表面上和第二侧表面上存在的被遮挡的区域，有利于对半导体晶圆的第一侧表面和第二侧表面进行检测，可操作性更高，实用性更强。
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公开(公告)号：CN115950388A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211611722.1
申请日：2022-12-14
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供一种反射式激光跟踪仪两轴与反射镜平移误差测量装置及方法。该装置包括：二维精密转台，包括转台主体、水平轴、垂直轴和反射镜；三坐标测量仪，包括测量平台和测针，测针用于对反射镜进行多个第一点位测量，并利用多个第一点位拟合成为反射面，调平装置，用于搭载二维精密转台，并对二维精密转台进行水平调平。测量装置，用于测量二维精密转台是否水平以及测量反射镜与水平轴、垂直轴的平移误差。该方法通过二维精密转台的水平轴和垂直轴带动反射镜，测量反射镜与水平轴的平移误差以及水平轴与垂直轴的平移误差。本申请有效获取二维精密转台与两轴之间的平移误差，从而获取真实的误差补偿数据。
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公开(公告)号：CN115789202A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211528822.8
申请日：2022-11-30
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供一种螺纹凸轮联动式差速器，包括：顺次连接的螺纹机构、联动筒和凸轮机构；所述螺纹机构包括套设螺纹连接的主动筒和移动筒，所述移动筒与所述联动筒通过第一连接件固定连接，所述移动筒在所述主动筒的转动螺纹作用下带动所述联动筒作直线运动；所述凸轮机构包括凸轮筒和第二连接件，所述第二连接件穿过所述凸轮筒上的凸轮槽固定在所述联动筒上，所述第二连接件在所述联动筒的直线运动作用下在所述凸轮槽内移动，以带动所述凸轮筒作旋转运动。本申请结构小巧、空间占用合理、安装更方便，在使用时不会像现有的行星齿轮组结构那样出现振动问题，并且传动精度更高。
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公开(公告)号：CN116945133B
公开(公告)日：2025-05-20
申请号：CN202310705254.2
申请日：2023-06-14
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
IPC: B25J9/00
Abstract: 本申请提供一种机械手固定调整台，包括：固定台主体；固定板，设置在所述固定台主体顶部，远离所述固定台主体的一侧固定连接有机械手，所述固定板的第一侧和第二侧均设有第一固定结构，用于限制所述固定板相对于所述固定台主体在水平方向的位移；固定盒，设置在所述固定台的顶部，所述固定盒的顶部设有容纳座，所述固定板嵌设在所述容纳座中，所述固定盒设有第二固定结构和第三固定结构，用于限制所述固定板相对于所述固定台主体的位移。使机械手受力时，通过固定板和固定盒以及第一固定结构和第二固定结构以及第三固定结构配合分担受力，固定更加稳定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116945133A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310705254.2
申请日：2023-06-14
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
IPC: B25J9/00
Abstract: 本申请提供一种机械手固定调整台，包括：固定台主体；固定板，设置在所述固定台主体顶部，远离所述固定台主体的一侧固定连接有机械手，所述固定板的第一侧和第二侧均设有第一固定结构，用于限制所述固定板相对于所述固定台主体在水平方向的位移；固定盒，设置在所述固定台的顶部，所述固定盒的顶部设有容纳座，所述固定板嵌设在所述容纳座中，所述固定盒设有第二固定结构和第三固定结构，用于限制所述固定板相对于所述固定台主体的位移。使机械手受力时，通过固定板和固定盒以及第一固定结构和第二固定结构以及第三固定结构配合分担受力，固定更加稳定。
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公开(公告)号：CN115371545A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202210804178.6
申请日：2022-07-07
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供一种激光跟踪仪姿态测量校准装置及方法。该装置包括姿态测量靶标和二维精密转台；所述二维精密转台包括转台主体、俯仰轴和横滚轴，所述俯仰轴转动连接于所述转台主体的上方，所述横滚轴的一端转动连接于所述俯仰轴，所述姿态测量靶标连接于所述横滚轴的另一端；所述横滚轴和所述俯仰轴沿轴向相互垂直。该方法通过二维精密转台的俯仰轴和横滚轴带动姿态测量靶标转动，将姿态测量靶标的俯仰和水平方向进行置换，实现了激光跟踪仪水平方向的姿态角测试，从而实现了激光跟踪仪的三维姿态测量校准。本申请有效地降低了精密转台的设计要求，降低了制造成本，减少了转台的误差传递链，并提高了二维精密转台的测量精度和稳定性。
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公开(公告)号：CN220408725U
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202321518131.X
申请日：2023-06-14
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
IPC: B25J9/00
Abstract: 本申请提供一种机械手固定调整台，包括：固定台主体；固定板，设置在所述固定台主体顶部，远离所述固定台主体的一侧固定连接有机械手，所述固定板的第一侧和第二侧均设有第一固定结构，用于限制所述固定板相对于所述固定台主体在水平方向的位移；固定盒，设置在所述固定台的顶部，所述固定盒的顶部设有容纳座，所述固定板嵌设在所述容纳座中，所述固定盒设有第二固定结构和第三固定结构，用于限制所述固定板相对于所述固定台主体的位移。使机械手受力时，通过固定板和固定盒以及第一固定结构和第二固定结构以及第三固定结构配合分担受力，固定更加稳定。
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公开(公告)号：CN218238710U
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202221134564.0
申请日：2022-05-11
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本实用新型提供了一种激光跟踪仪快速拆装的装置，包括与激光跟踪仪底部固定连接的圆盘件，以及位于该圆盘件下方的承接件；该圆盘件和该承接件之间通过至少两个锁紧装置连接；该锁紧装置包括凸轮套，该凸轮套内设有转轮，该转轮顶部设有水平向外延伸的凸块，与该凸轮套的顶面相抵；该凸轮套内壁设有与该凸块对应的竖槽，使该凸块对应该竖槽时该转轮能上下移动；该转轮底部连接销轴，该销轴底端设有旋钮；该转轮和该旋钮之间的销轴上套设有安装套，该安装套与该转轮之间的销轴套设有弹簧；该凸轮套固定设于该圆盘件底面内凹的第一安装孔内，该安装套固定设于该承接件顶面内凹的第二安装孔内。本实用新型结构简单，拆装方便，经济实用。
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公开(公告)号：CN219780540U
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202320922562.6
申请日：2023-04-18
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供了一种定位台，通过夹持机构将待定位电路板推动至机械手臂进行拾取的位置，机械手臂不需要再根据电路板的位置进行微调，减少通过机械手臂进行转移耗费的时间。并且，对于不同类型的电路板，只需要调节夹持机构的推动距离，即可将不同的电路板推动至拾取位置，能够应用于多种电路板，无需针对每种电路板进行适应设计，减少耗费成本。
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