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公开(公告)号：CN105189025A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480018920.4
申请日：2014-03-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/40 , B28D5/00 , C03B33/09 , G02B3/08 , H01L21/301
CPC classification number: B23K26/53 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0736 , B23K26/40 , B23K2103/50 , B28D5/00 , C03B33/0222 , C03B33/07 , G02B3/08 , G02B5/001 , Y02P40/57
Abstract: 激光加工装置通过将激光聚光于加工对象物而沿着切断预定线在加工对象物的内部形成改质区域。激光加工装置具备将激光射出的激光光源、调制由激光光源射出的激光的空间光调制器、及将通过空间光调制器调制后的激光聚光在加工对象物的聚光光学系统。空间光调制器通过将轴棱锥透镜图案作为调制图案来显示，从而以在沿着激光照射方向接近排列的多个位置形成聚光点的方式使激光聚光。
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公开(公告)号：CN105102178A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480018596.6
申请日：2014-03-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/40 , H01L21/301
CPC classification number: B23K26/0624 , B23K26/0006 , B23K26/03 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0853 , B23K26/53 , B23K2103/52 , B23K2103/54 , B23K2103/56 , H01L21/30
Abstract: 本发明是经由将激光(L)聚光于加工对象物(1)，在加工对象物(1)中形成改质区域(7)，具备：射出激光(L)的激光光源、将由激光光源射出的激光(L)聚光于加工对象物(1)的聚光光学系统(4)、以及对经由聚光光学系统聚光于加工对象物(1)的激光(L)赋予像差的像差赋予部(203)。在激光(L)的光轴方向上由将激光(L)聚光于加工对象物(1)所引起的产生于该聚光位置的像差的聚光产生像差的范围为基准像差范围的情况下，像差赋予部(203)，是在光轴方向具有比基准像差范围更长的长范围作为像差的范围，且以光轴方向中的激光(L)的强度分布在长范围具有连续的强弱的方式对激光赋予第1像差，从而提高加工品质。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105102178B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201480018596.6
申请日：2014-03-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/03 , B23K26/064 , B23K26/53 , B23K26/08
CPC classification number: B23K26/0624 , B23K26/0006 , B23K26/03 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0853 , B23K26/53 , B23K2103/52 , B23K2103/54 , B23K2103/56
Abstract: 本发明是经由将激光(L)聚光于加工对象物(1)，在加工对象物(1)中形成改质区域(7)，具备：射出激光(L)的激光光源、将由激光光源射出的激光(L)聚光于加工对象物(1)的聚光光学系统(4)、以及对经由聚光光学系统聚光于加工对象物(1)的激光(L)赋予像差的像差赋予部(203)。在激光(L)的光轴方向上由将激光(L)聚光于加工对象物(1)所引起的产生于该聚光位置的像差的聚光产生像差的范围为基准像差范围的情况下，像差赋予部(203)，是在光轴方向具有比基准像差范围更长的长范围作为像差的范围，且以光轴方向中的激光(L)的强度分布在长范围具有连续的强弱的方式对激光赋予第1像差，从而提高加工品质。
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公开(公告)号：CN105324207B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201480018906.4
申请日：2014-03-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/40 , H01L21/301
CPC classification number: B23K26/0624 , B23K26/0006 , B23K26/03 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0853 , B23K26/53 , B23K2103/52 , B23K2103/54 , B23K2103/56
Abstract: 激光加工装置是通过将超短脉冲光的激光聚光在加工对象物(1)从而在加工对象物(1)形成改质区域(7)的激光加工装置，具备将激光(L)射出的激光光源(202)、将由激光光源(202)射出的激光(L)聚光在加工对象物(1)的聚光光学系统(4)、及对由聚光光学系统(4)聚光在加工对象物(1)的激光(L)赋予像差的像差赋予部(203)，在激光(L)的光轴方向上，在将由于将激光(L)聚光在加工对象物(1)而在该聚光位置产生的像差、即聚光产生像差的范围作为基准像差范围的情况下，像差赋予部(203)以将在光轴方向上比基准像差范围更长的长条范围作为像差的范围来具有，并且光轴方向上的激光的强度分布具有在长条范围连续的强弱的方式对激光赋予第1像差，由此提高加工品质。
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公开(公告)号：CN118159386A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202280071900.8
申请日：2022-10-21
Applicant: 日亚化学工业株式会社 , 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/062 , B23K26/03 , H01L21/301
Abstract: 本发明的激光调整方法具备：第1准备步骤，其取得包含第1损伤的影像的图像，作为第1损伤图像，该第1损伤为通过向包含第1晶圆与设置于上述第1晶圆的第1膜的第1膜晶圆照射第1激光而形成于该第1膜的损伤；第2准备步骤，其准备包含第2晶圆与设置于上述第2晶圆的第2膜的第2膜晶圆；加工步骤，其通过在上述第1准备步骤及上述第2准备步骤之后，对上述第2膜晶圆照射第2激光，而在该第2膜形成第2损伤；摄像步骤，其在上述加工步骤之后，拍摄上述第2膜，由此取得包含上述第2损伤的影像的图像作为第2损伤图像；及调整步骤，其在上述摄像步骤之后，以上述第2损伤图像所包含的上述第2损伤的影像接近上述第1损伤图像所包含的上述第1损伤的影像的方式，调整对上述第2激光赋予的像差。
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公开(公告)号：CN105189025B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201480018920.4
申请日：2014-03-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/40 , B28D5/00 , C03B33/09 , G02B3/08 , H01L21/301
Abstract: 激光加工装置通过将激光聚光于加工对象物而沿着切断预定线在加工对象物的内部形成改质区域。激光加工装置具备将激光射出的激光光源、调制由激光光源射出的激光的空间光调制器、及将通过空间光调制器调制后的激光聚光在加工对象物的聚光光学系统。空间光调制器通过将轴棱锥透镜图案作为调制图案来显示，从而以在沿着激光照射方向接近排列的多个位置形成聚光点的方式使激光聚光。
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公开(公告)号：CN105324207A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201480018906.4
申请日：2014-03-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/40 , H01L21/301
CPC classification number: B23K26/0624 , B23K26/0006 , B23K26/03 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0853 , B23K26/53 , B23K2103/52 , B23K2103/54 , B23K2103/56
Abstract: 激光加工装置是通过将超短脉冲光的激光聚光在加工对象物(1)从而在加工对象物(1)形成改质区域(7)的激光加工装置，具备将激光(L)射出的激光光源(202)、将由激光光源(202)射出的激光(L)聚光在加工对象物(1)的聚光光学系统(4)、及对由聚光光学系统(4)聚光在加工对象物(1)的激光(L)赋予像差的像差赋予部(203)，在激光(L)的光轴方向上，在将由于将激光(L)聚光在加工对象物(1)而在该聚光位置产生的像差、即聚光产生像差的范围作为基准像差范围的情况下，像差赋予部(203)以将在光轴方向上比基准像差范围更长的长条范围作为像差的范围来具有，并且光轴方向上的激光的强度分布具有在长条范围连续的强弱的方式对激光赋予第1像差，由此提高加工品质。
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