全反射太赫兹波测定装置

    公开(公告)号:CN102016548A

    公开(公告)日:2011-04-13

    申请号:CN200980115688.5

    申请日:2009-04-27

    CPC classification number: G01N21/552 G01N21/3504 G01N21/3586

    Abstract: 本发明的全反射太赫兹波测定装置(1)具备光源(11)、分支部(12)、斩波器(13)、光程差调整部(14)、偏振片(15)、分束器(17)、太赫兹波产生元件(20)、滤波器(25)、内部全反射棱镜(31)、太赫兹波检测元件(40)、1/4波长板(51)、偏振光分离元件(52)、光检测器(53a)、光检测器(53b)、差动放大器(54)以及锁定放大器(55)。内部全反射棱镜(31)为所谓的无象差棱镜,具有入射面(31a)、出射面(31b)以及反射面(31c)。内部全反射棱镜(31)的入射面(31a)上一体地设置有太赫兹波产生元件(20)和滤波器(25),内部全反射棱镜(31)的出射面(31b)上一体地设置有太赫兹波检测元件(40)。滤波器(25)使太赫兹波透过而使泵浦光遮断。由此,实现了可小型化的全反射太赫兹波测定装置。

    激光加工装置以及激光加工方法

    公开(公告)号:CN103170734A

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201210575113.5

    申请日:2012-12-26

    Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光加工装置(1)具备光源(20)、转换来自于光源的激光的强度分布并整形为所希望的强度分布、并分别生成不同的波阵面的多个强度转换透镜(11)、将来自于强度转换透镜(11)的激光聚光于加工对象物(100)内部中的加工位置的聚光透镜(50)、在变更加工位置的情况下切换多个强度转换透镜(11)的控制部(80)。

    全反射太赫兹波测定装置

    公开(公告)号:CN102016548B

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN200980115688.5

    申请日:2009-04-27

    CPC classification number: G01N21/552 G01N21/3504 G01N21/3586

    Abstract: 本发明的全反射太赫兹波测定装置(1)具备光源(11)、分支部(12)、斩波器(13)、光程差调整部(14)、偏振片(15)、分束器(17)、太赫兹波产生元件(20)、滤波器(25)、内部全反射棱镜(31)、太赫兹波检测元件(40)、1/4波长板(51)、偏振光分离元件(52)、光检测器(53a)、光检测器(53b)、差动放大器(54)以及锁定放大器(55)。内部全反射棱镜(31)为所谓的无象差棱镜,具有入射面(31a)、出射面(31b)以及反射面(31c)。内部全反射棱镜(31)的入射面(31a)上一体地设置有太赫兹波产生元件(20)和滤波器(25),内部全反射棱镜(31)的出射面(31b)上一体地设置有太赫兹波检测元件(40)。滤波器(25)使太赫兹波透过而使泵浦光遮断。由此,实现了可小型化的全反射太赫兹波测定装置。

    激光加工装置以及激光加工方法

    公开(公告)号:CN103170734B

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201210575113.5

    申请日:2012-12-26

    Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光加工装置(1)具备光源(20)、转换来自于光源的激光的强度分布并整形为所希望的强度分布、并分别生成不同的波阵面的多个强度转换透镜(11)、将来自于强度转换透镜(11)的激光聚光于加工对象物(100)内部中的加工位置的聚光透镜(50)、在变更加工位置的情况下切换多个强度转换透镜(11)的控制部(80)。

    激光整形及波阵面控制用光学系统

    公开(公告)号:CN103069328B

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201180038181.1

    申请日:2011-07-13

    Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光整形及波阵面控制用光学系统(1)具备:强度转换透镜(24),其将入射激光的强度分布转换并整形成所期望的强度分布;光调制元件(34),其调制来自于强度转换透镜(24)的射出激光且进行波阵面控制;聚光光学系统(36),其将来自于光调制元件(34)的输出激光聚光;及成像光学系统(30),其配置于光调制元件(34)与聚光光学系统(36)之间,在将来自于强度转换透镜(24)的射出激光的强度分布成所期望的强度分布的面(24x)与光调制元件(34)的调制面(34a)之间具有入射侧成像面,且在聚光光学系统(36)的瞳孔面(36a)具有射出侧成像面。

    激光整形及波阵面控制用光学系统

    公开(公告)号:CN103069328A

    公开(公告)日:2013-04-24

    申请号:CN201180038181.1

    申请日:2011-07-13

    Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光整形及波阵面控制用光学系统(1)具备:强度转换透镜(24),其将入射激光的强度分布转换并整形成所期望的强度分布;光调制元件(34),其调制来自于强度转换透镜(24)的射出激光且进行波阵面控制;聚光光学系统(36),其将来自于光调制元件(34)的输出激光聚光;及成像光学系统(30),其配置于光调制元件(34)与聚光光学系统(36)之间,在将来自于强度转换透镜(24)的射出激光的强度分布分布成所期望的强度分布的面(24x)与光调制元件(34)的调制面(34a)之间具有入射侧成像面,且在聚光光学系统(36)的瞳孔面(36a)具有射出侧成像面。

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