-
公开(公告)号:CN104094161B
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201280067266.7
申请日:2012-10-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01S3/10 , B23K26/0608 , B23K26/0648 , B29D11/00019 , G01B11/24 , G01J1/4257 , G02B13/18 , G02B27/0927 , G02B27/0955 , H01S3/005 , H01S2301/206
Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光整形用光学部件的设计方法测量入射激光的强度分布,就入射激光的短轴方向和长轴方向的各个,从测量的入射激光的强度分布和所期望的强度分布,分别求得一对非球面透镜的短轴方向和长轴方向的形状,分别进行一对非球面透镜的短轴方向和长轴方向的形状的高次多项式近似,使用修正系数修正短轴方向的高次多项式或长轴方向的高次多项式,并基于修正高次多项式求得一对非球面透镜的形状。
-
公开(公告)号:CN102016548A
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200980115688.5
申请日:2009-04-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/552 , G01N21/3504 , G01N21/3586
Abstract: 本发明的全反射太赫兹波测定装置(1)具备光源(11)、分支部(12)、斩波器(13)、光程差调整部(14)、偏振片(15)、分束器(17)、太赫兹波产生元件(20)、滤波器(25)、内部全反射棱镜(31)、太赫兹波检测元件(40)、1/4波长板(51)、偏振光分离元件(52)、光检测器(53a)、光检测器(53b)、差动放大器(54)以及锁定放大器(55)。内部全反射棱镜(31)为所谓的无象差棱镜,具有入射面(31a)、出射面(31b)以及反射面(31c)。内部全反射棱镜(31)的入射面(31a)上一体地设置有太赫兹波产生元件(20)和滤波器(25),内部全反射棱镜(31)的出射面(31b)上一体地设置有太赫兹波检测元件(40)。滤波器(25)使太赫兹波透过而使泵浦光遮断。由此,实现了可小型化的全反射太赫兹波测定装置。
-
公开(公告)号:CN103170734A
公开(公告)日:2013-06-26
申请号:CN201210575113.5
申请日:2012-12-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/073
Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光加工装置(1)具备光源(20)、转换来自于光源的激光的强度分布并整形为所希望的强度分布、并分别生成不同的波阵面的多个强度转换透镜(11)、将来自于强度转换透镜(11)的激光聚光于加工对象物(100)内部中的加工位置的聚光透镜(50)、在变更加工位置的情况下切换多个强度转换透镜(11)的控制部(80)。
-
公开(公告)号:CN102016548B
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN200980115688.5
申请日:2009-04-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/552 , G01N21/3504 , G01N21/3586
Abstract: 本发明的全反射太赫兹波测定装置(1)具备光源(11)、分支部(12)、斩波器(13)、光程差调整部(14)、偏振片(15)、分束器(17)、太赫兹波产生元件(20)、滤波器(25)、内部全反射棱镜(31)、太赫兹波检测元件(40)、1/4波长板(51)、偏振光分离元件(52)、光检测器(53a)、光检测器(53b)、差动放大器(54)以及锁定放大器(55)。内部全反射棱镜(31)为所谓的无象差棱镜,具有入射面(31a)、出射面(31b)以及反射面(31c)。内部全反射棱镜(31)的入射面(31a)上一体地设置有太赫兹波产生元件(20)和滤波器(25),内部全反射棱镜(31)的出射面(31b)上一体地设置有太赫兹波检测元件(40)。滤波器(25)使太赫兹波透过而使泵浦光遮断。由此,实现了可小型化的全反射太赫兹波测定装置。
-
公开(公告)号:CN103170734B
公开(公告)日:2016-02-24
申请号:CN201210575113.5
申请日:2012-12-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/073
Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光加工装置(1)具备光源(20)、转换来自于光源的激光的强度分布并整形为所希望的强度分布、并分别生成不同的波阵面的多个强度转换透镜(11)、将来自于强度转换透镜(11)的激光聚光于加工对象物(100)内部中的加工位置的聚光透镜(50)、在变更加工位置的情况下切换多个强度转换透镜(11)的控制部(80)。
-
公开(公告)号:CN103069328B
公开(公告)日:2015-06-24
申请号:CN201180038181.1
申请日:2011-07-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/01 , G02B27/0927 , G02B27/0944 , G02B27/095 , G02B27/0977
Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光整形及波阵面控制用光学系统(1)具备:强度转换透镜(24),其将入射激光的强度分布转换并整形成所期望的强度分布;光调制元件(34),其调制来自于强度转换透镜(24)的射出激光且进行波阵面控制;聚光光学系统(36),其将来自于光调制元件(34)的输出激光聚光;及成像光学系统(30),其配置于光调制元件(34)与聚光光学系统(36)之间,在将来自于强度转换透镜(24)的射出激光的强度分布成所期望的强度分布的面(24x)与光调制元件(34)的调制面(34a)之间具有入射侧成像面,且在聚光光学系统(36)的瞳孔面(36a)具有射出侧成像面。
-
公开(公告)号:CN104094161A
公开(公告)日:2014-10-08
申请号:CN201280067266.7
申请日:2012-10-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01S3/10 , B23K26/0608 , B23K26/0648 , B29D11/00019 , G01B11/24 , G01J1/4257 , G02B13/18 , G02B27/0927 , G02B27/0955 , H01S3/005 , H01S2301/206
Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光整形用光学部件的设计方法测量入射激光的强度分布,就入射激光的短轴方向和长轴方向的各个,从测量的入射激光的强度分布和所期望的强度分布,分别求得一对非球面透镜的短轴方向和长轴方向的形状,分别进行一对非球面透镜的短轴方向和长轴方向的形状的高次多项式近似,使用修正系数修正短轴方向的高次多项式或长轴方向的高次多项式,并基于修正高次多项式求得一对非球面透镜的形状。
-
公开(公告)号:CN103069328A
公开(公告)日:2013-04-24
申请号:CN201180038181.1
申请日:2011-07-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/01 , G02B27/0927 , G02B27/0944 , G02B27/095 , G02B27/0977
Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光整形及波阵面控制用光学系统(1)具备:强度转换透镜(24),其将入射激光的强度分布转换并整形成所期望的强度分布;光调制元件(34),其调制来自于强度转换透镜(24)的射出激光且进行波阵面控制;聚光光学系统(36),其将来自于光调制元件(34)的输出激光聚光;及成像光学系统(30),其配置于光调制元件(34)与聚光光学系统(36)之间,在将来自于强度转换透镜(24)的射出激光的强度分布分布成所期望的强度分布的面(24x)与光调制元件(34)的调制面(34a)之间具有入射侧成像面,且在聚光光学系统(36)的瞳孔面(36a)具有射出侧成像面。
-
-
-
-
-
-
-