公开(公告)号：CN110062903B

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：CN201780077044.6

申请日：2017-11-21

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 中村共则 ,  中村明裕

IPC: G02B7/02 ,  G02B21/00 ,  G02B21/02 ,  H01L21/66

Abstract: 固体浸没透镜单元具备：固体浸没透镜，其具有抵接于检查对象物的抵接面、及与物镜相对的球面；保持器，其保持固体浸没透镜；磁铁，其设置于保持器；及球体，其在与球面相对的位置上通过磁铁的磁力而可旋转地被保持。保持器在球面接触于球体的状态下，可摇动地保持固体浸没透镜。

公开(公告)号：CN117480378A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202280042180.2

申请日：2022-02-18

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 池村贤一郎 ,  铃木健吾 ,  井口和也 ,  中村明裕

IPC: G01N21/64

Abstract: 本发明的测量装置(1)具备：积分球(4)，其在内部配置有测量物(S)；激发光学系统(3)，其将激发光(L1)朝向配置于积分球(4)的测量物(S)导光；光检测器(6)，其检测通过激发光(L1)的照射而由积分球(4)内的测量物(S)产生的被测量光(L2)；以及第1检测光学系统(7)，其将被测量光(L2)从积分球(4)朝向光检测器(6)导光。在激发光学系统(3)中入射于积分球(4)内的测量物(S)的激发光(L1)的光轴、与在第1检测光学系统(7)中从积分球(4)出射的被测量光(L2)的光轴斜交，第1检测光学系统(7)具有：限制光检测器(6)的被测量光(L2)的检测范围的开口部(36)，测量物(S)上的激发光(L1)的照射点(La)与开口部(36)为光学共轭关系。

公开(公告)号：CN110621967B

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN201880032081.X

申请日：2018-04-02

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 池村贤一郎 ,  井口和也 ,  江浦茂 ,  中村明裕

IPC: G01J3/443 ,  G01J1/00 ,  G01J1/02 ,  G01M11/00 ,  G01N21/64 ,  G01N21/66

Abstract: 分光测定装置是测定自试样发出的被测定光的分光测定装置，具备：积分球，其具有内壁面及安装孔；接合器，其具有引导被测定光的引导孔，且配置于积分球；板，其具有自积分球的外侧覆盖引导孔且载置试样的第1面、及第2面，且使被测定光透过；保持器，其具有载置板的凹部，且安装于安装孔；及分光检测器，其检测被测定光。凹部包含：与第2面相对的底面、及包围板的周围的侧面。底面及侧面由反射被测定光的反射材覆盖。

公开(公告)号：CN118871797A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202280093595.2

申请日：2022-11-18

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 中村明裕

IPC: G01R31/28 ,  G01R31/27

Abstract: 冷却单元具备外套，外套具有中央部及外侧部。在中央部，形成有来自半导体器件的光通过的开口。外侧部具有与配置半导体器件的载台接触的接触部。在外套，形成有用于冷却半导体器件的冷却流体流通的供给流路。在外套的中央部与外侧部之间，形成有以冷却流体自中央部的上表面流下的方式构成的槽部。在槽部，连接有排出至外部的冷却流体流通的排出流路。

公开(公告)号：CN110062903A

公开(公告)日：2019-07-26

申请号：CN201780077044.6

申请日：2017-11-21

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 中村共则 ,  中村明裕

IPC: G02B7/02 ,  G02B21/00 ,  G02B21/02 ,  H01L21/66

Abstract: 固体浸没透镜单元具备：固体浸没透镜，其具有抵接于检查对象物的抵接面、及与物镜相对的球面；保持器，其保持固体浸没透镜；磁铁，其设置于保持器；及球体，其在与球面相对的位置上通过磁铁的磁力而可旋转地被保持。保持器在球面接触于球体的状态下，可摇动地保持固体浸没透镜。

公开(公告)号：CN119032280A

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202280093597.1

申请日：2022-11-18

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 中村明裕

IPC: G01R31/28 ,  G01R31/26 ,  G01R31/27

Abstract: 冷却单元具备用于将半导体器件的热予以散热的外套。外套具有中央部及外侧部。在中央部，形成有来自半导体器件的光通过的开口。外侧部具有与配置半导体器件的载台接触的接触部。在外套，形成有用于冷却半导体器件的冷却流体流通的供给流路。在外套，形成有使外侧部的内侧与外套的外部之间的空气的流通成为可能的通气路径。

公开(公告)号：CN117529649A

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202280042191.0

申请日：2022-02-18

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 池村贤一郎 ,  铃木健吾 ,  井口和也 ,  中村明裕

IPC: G01N21/64

Abstract: 本发明的测量装置(1)具备：激发光源(2)；积分球(4)，其在内部配置有测量物(S)；激发光学系统(3)；光检测器(6)，其检测被测量光(L2)；以及第1检测光学系统(7)，第1检测光学系统(7)具有：限制被测量光(L2)的检测范围的开口部(36)，激发光学系统(3)及第1检测光学系统(7)具有：分离光学元件(18)，其将激发光(L1)的光轴、与被测量光(L2)的光轴分离，透镜(19)(第1聚光元件)以及透镜(34)(第2聚光元件)，入射于测量物(S)的激发光(L1)的光轴、与从积分球(4)出射的被测量光(L2)的光轴，通过分离光学元件(18)与透镜(19)斜交，照射点(La)与开口部(36)，通过透镜(19)与透镜(34)成为光学共轭关系。

公开(公告)号：CN110621967A

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201880032081.X

申请日：2018-04-02

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 池村贤一郎 ,  井口和也 ,  江浦茂 ,  中村明裕

IPC: G01J3/443 ,  G01J1/00 ,  G01J1/02 ,  G01M11/00 ,  G01N21/64 ,  G01N21/66

Abstract: 分光测定装置是测定自试样发出的被测定光的分光测定装置，具备：积分球，其具有内壁面及安装孔；接合器，其具有引导被测定光的引导孔，且配置于积分球；板，其具有自积分球的外侧覆盖引导孔且载置试样的第1面、及第2面，且使被测定光透过；保持器，其具有载置板的凹部，且安装于安装孔；及分光检测器，其检测被测定光。凹部包含：与第2面相对的底面、及包围板的周围的侧面。底面及侧面由反射被测定光的反射材覆盖。