公开(公告)号：CN119811551A

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202411756389.2

申请日：2024-12-03

Applicant: 浙江工业大学

Inventor： 赵文宏 ,  徐明源 ,  林俊杰 ,  潘楚予 ,  娄婕 ,  李斌杰 ,  沈家明 ,  颜晨欢

IPC: G16C60/00 ,  B24B37/005 ,  B24B49/00 ,  G16C20/70 ,  G06N3/045 ,  G06N3/0442 ,  G06N3/0499 ,  G01N15/02 ,  G01N33/40 ,  G01P3/00 ,  G01L5/00

Abstract: 本发明属于机械加工领域，公开了一种基于多源数据和化学机械抛光的抛光液寿命在线检测方法及系统，包括：采集加工过程中抛光液及抛光平台的多源数据信息；进行离线抛光测试获取抛光液循环抛光时的检测数据与去除率变化曲线；边缘计算平台接收传感器数据，进行预处理，并将处理结果上传至上位机；将预处理后的多源数据输入抛光液寿命预测模型，预测抛光液的剩余寿命和当前的理论材料去除率；将预测结果通过控制系统界面实时反馈给操作员，提示当前抛光液剩余寿命和预计更换抛光液的时间节点。本发明能够实时监控抛光液的状态，无需等待离线检测结果，保证了抛光工艺的连续性和稳定性，减少了因抛光液老化导致的工艺问题。

公开(公告)号：CN119748311A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202411732314.0

申请日：2024-11-29

Applicant: 浙江工业大学

Inventor： 赵文宏 ,  沈家明 ,  林俊杰 ,  潘楚予 ,  徐明源 ,  李斌杰 ,  娄婕 ,  颜晨欢

IPC: B24B37/013 ,  B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  B24B49/00 ,  G06N3/042 ,  G06N3/08

Abstract: 本发明属于机械加工领域，公开了一种高硬脆材料抛光过程的终点检测方法及系统，包括：步骤1，构建化学机械抛光的数学模型；步骤2，搭建测试平台进行力和力矩信号采集；步骤3，进行边缘计算平台的电路设计；步骤4，进行参数控制实验；步骤5，进行上位机系统的开发；步骤6，最终得到基于力和力矩信号的高硬脆材料加工状态预测模型的训练集；步骤7，对加工状态预测模型进行训练；步骤8，使用训练好的加工状态预测模型进行终点检测。本发明利用抛光扭矩对抛光状态进行在线实时检测，并进行状态反馈的方法，可提升抛光加工效率，提高抛光质量及抛光成品率，降低成本。