公开(公告)号：CN105039875B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201510522685.0

申请日：2015-08-24

Applicant: 浙江大学

Inventor： 蒋建中 ,  刘苏亚 ,  钱星 ,  曹庆平 ,  王晓东

IPC: C22C45/04 ,  C23C14/35 ,  C23C14/18

Abstract: 本发明公开了一种具有超低粗糙度的Ni‑Nb金属薄膜及其制备方法。将Ni、Nb金属原料合成靶材放在多靶磁控溅射镀膜设备的靶位上；衬底采用硅单面抛光片，安装在基片架上，调节距离；腔体抽真空，然后充入氩气，调节腔内气压预溅射；再进行溅射；将硅单面抛光片取出，得到不同Ni、Nb组成成分的Ni‑Nb金属薄膜。本发明制备得到的金属薄膜材料表面粗糙度小于1nm，具有超光滑表面，可用在磁高能激光反射镜、激光陀螺反射镜、光学窗口等领域，作为功能元件则具有高可靠性、高频响、高灵敏性，具有很广的应用前景。

公开(公告)号：CN105039875A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201510522685.0

申请日：2015-08-24

Applicant: 浙江大学

Inventor： 蒋建中 ,  刘苏亚 ,  钱星 ,  曹庆平 ,  王晓东

IPC: C22C45/04 ,  C23C14/35 ,  C23C14/18

Abstract: 本发明公开了一种具有超低粗糙度的Ni-Nb金属薄膜及其制备方法。将Ni、Nb金属原料合成靶材放在多靶磁控溅射镀膜设备的靶位上；衬底采用硅单面抛光片，安装在基片架上，调节距离；腔体抽真空，然后充入氩气，调节腔内气压预溅射；再进行溅射；将硅单面抛光片取出，得到不同Ni、Nb组成成分的Ni-Nb金属薄膜。本发明制备得到的金属薄膜材料表面粗糙度小于1nm，具有超光滑表面，可用在磁高能激光反射镜、激光陀螺反射镜、光学窗口等领域，作为功能元件则具有高可靠性、高频响、高灵敏性，具有很广的应用前景。