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公开(公告)号：CN115682952B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202211312724.0
申请日：2022-10-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦原理的几何量精密测量装置及方法。本发明包括双模测头、宽光谱光源、光纤光路、光谱检测模块和信号处理模块。双模测头通过将光谱共焦的光路一分为二，一路用于非接触式距离测量、另一路用于精确测定接触式探针的接触状态，实现非接触式和接触式两种测量模式。接触式探针的固定侧具有平端面，探针的接触力将改变平端面的姿态和位置，利用光谱共焦的测距原理，光谱检测模块测量并计算得到接触式探针的受力位置、受力大小和受力方向。当上述受力数据大于设定阈值时，信号处理模块将对外输出触发信号，用于控制数据采集装置采样。本发明可实现平面角度、形位误差、表面粗糙度等几何量的高精度测量。
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公开(公告)号：CN116277934A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310049795.4
申请日：2023-02-01
Applicant: 浙江大学
IPC: B29C64/129 , B29C64/264 , B29C64/232 , B29C64/393 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y50/00
Abstract: 本发明公开了一种利用显微投影制备三维微结构的装置及方法。本发明包括图案生成器、图案显示器、投影光源、准直透镜、结像透镜、显微物镜、样品基板以及Z轴运动平台。图案显示器、投影光源、准直透镜、结像透镜及显微物镜组成一个光学系统。投影光源所产生特定波长的光控制液态光固化材料以缩微图案的形式发生固化。通过Z轴运动平台控制样品基板和显微物镜之间的相对位置，并有图案生成器生成与位置对应的图案，生成特定的三维微结构。本发明将数字光处理、液晶显示器打印相结合，实现微米级精度的三维微结构光固化打印成型。本发明简单且易于实现，制备方法不需要严格的环境控制，降低了高精度三维微结构的制造成本。
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公开(公告)号：CN113607750B
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202110896661.7
申请日：2021-08-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/95 , G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种用于光学元件亚表面缺陷检测的装置及方法。本发明将光谱共焦技术、激光散射技术和激光诱导超声技术结合起来，通过色散镜组将激发激光和检测激光同时聚焦到光学元件的不同深度，激发激光在光学元件亚表面产生瞬态热膨胀效应，检测激光观测并分析亚表面缺陷在热膨胀效应作用下的超声振动，由光谱共焦技术获取亚表面缺陷位置散射光的空间分布信息及散射光谱信息。通过利用上述技术得到缺陷的反射光谱、散射光谱、三维形状、缺陷深度等多维度信息，进行亚表面缺陷的损伤表征。本发明适用于对亚表面缺陷有严苛要求的超精密光学元件的成品无损检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115682952A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211312724.0
申请日：2022-10-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦原理的几何量精密测量装置及方法。本发明包括双模测头、宽光谱光源、光纤光路、光谱检测模块和信号处理模块。双模测头通过将光谱共焦的光路一分为二，一路用于非接触式距离测量、另一路用于精确测定接触式探针的接触状态，实现非接触式和接触式两种测量模式。接触式探针的固定侧具有平端面，探针的接触力将改变平端面的姿态和位置，利用光谱共焦的测距原理，光谱检测模块测量并计算得到接触式探针的受力位置、受力大小和受力方向。当上述受力数据大于设定阈值时，信号处理模块将对外输出触发信号，用于控制数据采集装置采样。本发明可实现平面角度、形位误差、表面粗糙度等几何量的高精度测量。
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公开(公告)号：CN113589506B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202110896664.0
申请日：2021-08-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦原理的生物显微视觉预对焦装置及方法。该装置包括光谱共焦传感模块、显微光学模块、玻片夹持装置、聚焦运动装置和扫描运动装置。光谱共焦传感器一次性测量出到盖玻片上/下表面的距离、待观测生物组织层的厚度；通过标定确立显微物镜物方焦点和光谱共焦传感器测量值之间的空间关系，进而实现由光谱共焦传感器测量值直接驱动聚焦运动装置实现生物显微视觉的精确自动对焦。本发明还提供一种基于上述装置及方法的数字切片扫描仪。本发明适用于数字切片扫描仪的聚焦地形图构建，也可用于生物数码显微镜的自动对焦，具有对焦速度快、分层焦点预测准确等特点。
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公开(公告)号：CN113607750A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110896661.7
申请日：2021-08-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/95 , G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种用于光学元件亚表面缺陷检测的装置及方法。本发明将光谱共焦技术、激光散射技术和激光诱导超声技术结合起来，通过色散镜组将激发激光和检测激光同时聚焦到光学元件的不同深度，激发激光在光学元件亚表面产生瞬态热膨胀效应，检测激光观测并分析亚表面缺陷在热膨胀效应作用下的超声振动，由光谱共焦技术获取亚表面缺陷位置散射光的空间分布信息及散射光谱信息。通过利用上述技术得到缺陷的反射光谱、散射光谱、三维形状、缺陷深度等多维度信息，进行亚表面缺陷的损伤表征。本发明适用于对亚表面缺陷有严苛要求的超精密光学元件的成品无损检测。
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公开(公告)号：CN113589506A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110896664.0
申请日：2021-08-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦原理的生物显微视觉预对焦装置及方法。该装置包括光谱共焦传感模块、显微光学模块、玻片夹持装置、聚焦运动装置和扫描运动装置。光谱共焦传感器一次性测量出到盖玻片上/下表面的距离、待观测生物组织层的厚度；通过标定确立显微物镜物方焦点和光谱共焦传感器测量值之间的空间关系，进而实现由光谱共焦传感器测量值直接驱动聚焦运动装置实现生物显微视觉的精确自动对焦。本发明还提供一种基于上述装置及方法的数字切片扫描仪。本发明适用于数字切片扫描仪的聚焦地形图构建，也可用于生物数码显微镜的自动对焦，具有对焦速度快、分层焦点预测准确等特点。
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公开(公告)号：CN216117309U
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202121820233.8
申请日：2021-08-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于光谱共焦原理的生物显微视觉预对焦装置。该装置包括光谱共焦传感模块、显微光学模块、玻片夹持装置、聚焦运动装置和扫描运动装置。光谱共焦传感模块包括色散镜头、宽光谱光源、光纤光路、光谱测量模块、控制系统；显微光学模块包括显微物镜、结像透镜、倍率转换镜、聚光镜、光源、数字摄像装置；玻片夹持装置用于固定标准生物玻片，保证标准生物玻片在水平运动时不发生滑移；聚焦运动装置用于实现驱动玻片夹持装置与显微物镜之间相互移动；扫描运动装置用于驱动玻片夹持装置在X‑Y平面内运动，完成对标准生物玻片的扫描。本实用新型用于生物数码显微镜的自动对焦，具有对焦速度快、分层焦点预测准确等特点。
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