一种高集成的微机械加速度计-陀螺仪

    公开(公告)号:CN119986041A

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202510138998.X

    申请日:2025-02-08

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 马志鹏 董磊锘

    Abstract: 本发明公开了一种高集成的微机械加速度计‑陀螺仪,属于惯性传感技术领域。本发明通过共用机械结构和电极,通过在对称平行板电容结构上面施加一对符号相反的直流电压、谐振电压和载波电压,结合PLL相位闭环控制方法,可同时实现三轴结构的谐振驱动、幅度检测和频率检测,经过加权融合和控制器计算可得到力平衡反馈电压,维持质量块位置恒定,此时反馈电压反映加速度大小;同时,三轴谐振结构受到科氏力耦合作用,两正交轴谐振频率之和包含第三个正交轴的角速度信息,通过与一个频率为两频率之差的正弦信号进行乘法解调和低通滤波计算可得到角速度大小。本发明中微机械加速度计‑陀螺仪集成方法简单,同时可有效抑制温度漂移。

    一种变间距梳齿驱动器的恒定弹性系数控制方法

    公开(公告)号:CN119787863A

    公开(公告)日:2025-04-08

    申请号:CN202411840627.8

    申请日:2024-12-13

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种变间距梳齿驱动器的恒定弹性系数控制方法,属于静电驱动技术领域。本发明的变间距梳齿驱动器为中心对称结构,包括可动的质量块和位于质量块中间极板两侧的固定式多功能复用电极,质量块中间极板与两侧的多功能复用电极形成差分电容器,该差分电容器能够复用位移检测、刚度修调、驱动力控制和位置校准四种功能,四种功能通过不同频率分配避免信号相互干扰。通过电容检测的方式识别动子质量块位移,以力平衡方式产生静电合力将动子质量块位置稳定在预设校准位置处,同时产生静电负刚度使系统刚度降低至预设值。本发明能够令变间距梳齿驱动器在产生静电驱动力的同时维持被驱动系统的弹性系数恒定。

    一种微流控DNA提取装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114752470A

    公开(公告)日:2022-07-15

    申请号:CN202210480395.4

    申请日:2022-05-05

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种微流控DNA提取装置,属于微流控技术领域。装置包括多级联式的提取系统和收集单元,前一级提取系统的输出端通过虹吸通道连接后一级提取系统的输入端,最后一级提取系统的输出端连接收集单元;每一级提取系统和收集单元布置在盘形离心板上,各级提取系统与盘形离心板旋转中心的距离依次减小,且收集单元与盘形离心板旋转中心的距离最小,使各级提取系统实现功能时所需的最低离心旋转速度依次增大。本发明提供的微流控DNA提取装置集成度高,可自动化实现DNA提取,同时制造工艺简单,制造成本可以得到有效的控制。

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